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J-GLOBAL ID：201502210142636250   整理番号：15A1235916

受動RFIDベース集積加速度計の設計【Powered by NICT】

Design of a Passive RFID-based Integrated Accelerometer

著者 (5件)： Liu Maoxu (School of Electrical Engineering and Automation, Hefei Univ. of Technol., Hefei) ,  He Yigang (School of Electrical Engineering and Automation, Hefei Univ. of Technol., Hefei) ,  Deng Fangming (School of Electrical Engineering and Automation, Hefei Univ. of Technol., Hefei) ,  Chen Huan (School of Electrical Engineering and Automation, Hefei Univ. of Technol., Hefei) ,  Li Demin (School of Electrical Engineering and Automation, Hefei Univ. of Technol., Hefei)
資料名： Guti Dianzixue Yanjiu yu Jinzhan  (Guti Dianzixue Yanjiu yu Jinzhan)
巻： 35  号： 3  ページ： 289-295  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2084A  ISSN： 1000-3819  CODEN： GDYJE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 無線周波数識別(RFID)の迅速な開発のためのとして,0.35μm相補型金属酸化物半導体プロセスを用いた集積化加速度計を提示した。加速度計ユニットはバルクシリコンディープ反応性イオンエッチング(DRIE)と標準ICプロセス後の二段階ドライエッチング,は非常に簡単で,作製した。センサ界面は内部振幅制限リング振動子を採用し,センサキャパシタンスを変換周波数信号し,カウンタを用いたディジタル信号変換を終了する。測定結果は,提案した統合加速度計は優れた直線性と安定性を達成することを示した。提案した加速度計は0.23mm~2チップ面積をカバーし,1.2V電源電圧,パッシブRFIDタグ設計に特に適していることを証明するだけで1.4μWの電力を消費する。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 周波数 ,  RIE【エッチング】 ,  計数器 ,  ドライエッチング ,  *RFID ,  半導体プロセス ,  線形性 ,  センサ ,  *加速度計 ,  電力
準シソーラス用語： 電源電圧 ,  チップ面積 ,  デジタル信号 ,  DRIE【エッチング】 ,  無線周波数 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (4件)： RFID ,  集積 ,  加速度計 ,  設計