SOMA Aurelio について
Politecnico di Torino, Torino, ITA について
SALEEM Muhammad Mubasher について
Politecnico di Torino, Torino, ITA について
Journal of Micromechanics and Microengineering について
MEMS について
HF【周波数】 について
残留応力 について
熱応力 について
ブリッジ回路 について
微細構造 について
片持梁 について
マイクロマシニング について
プラズマエッチング について
熱サイクル について
電圧 について
塑性変形 について
微細加工 について
有限要素法 について
RF MEMS について
プルイン電圧 について
マイクロカンチレバー について
マイクロブリッジ について
熱残留応力 について
固体デバイス製造技術一般 について
RF について
MEMS について
誘起 について
残留応力 について
モデリング について
実験検証 について