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J-GLOBAL ID：201502216107888618   整理番号：15A0609233

様々な平滑疎水性シラン被覆上への付着及び摩擦力

Adhesion and Friction Force on Various Smooth Hydrophobic Silane Coatings

著者 (6件)： MIYAMOTO Takumi (Dep. of Metallurgy and Ceramic Sci., Tokyo Inst. of Technol.) ,  SAKAI Munetoshi (Kanagawa Acad. of Sci. and Technol.) ,  ISOBE Toshihiro (Dep. of Metallurgy and Ceramic Sci., Tokyo Inst. of Technol.) ,  MATSUSHITA Sachiko (Dep. of Metallurgy and Ceramic Sci., Tokyo Inst. of Technol.) ,  NAKAJIMA Akira (Dep. of Metallurgy and Ceramic Sci., Tokyo Inst. of Technol.) ,  NAKAJIMA Akira (Kanagawa Acad. of Sci. and Technol.)
資料名： Chemistry Letters  (Chemistry Letters)
巻： 44  号： 5  ページ： 683-684 (J-STAGE)  発行年： 2015年 
JST資料番号： S0742A  ISSN： 0366-7022  CODEN： CMLTAG  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 様々な平滑疎水性シラン被覆を,Si基板上にCVDを用いて調製した。次いでこれら被覆に対する付着及び摩擦力を,周囲雰囲気中,力曲線測定及びSi₃N₄被覆Siカンチレバー付き摩擦力顕微鏡を用いて調べた。付着力は水接触角のコサインに依存する。それは毛管力に支配されることが示唆された。水接触角,充填密度,剛性,及び分子相互作用がこの被覆の摩擦係数の一因となる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *シラン ,  *有機ケイ素化合物 ,  *平滑度 ,  *疎水性 ,  *被覆 ,  *付着 ,  *摩擦力 ,  ウエハ【IC】 ,  *化学蒸着 ,  計測 ,  窒化ケイ素 ,  ケイ素 ,  片持梁 ,  力顕微鏡 ,  付着力 ,  *接触角 ,  毛管力 ,  密度 ,  剛性 ,  分子間相互作用 ,  *摩擦係数 ,  *表面粗さ ,  原子間力顕微鏡 ,  偏光解析法
準シソーラス用語： *CVD【化学蒸着】 ,  カンチレバー ,  ケイ素基板 ,  充填密度 ,  *水接触角 ,  分子相互作用 ,  *平滑性 ,  摩擦力顕微鏡 ,  力測定

分類 (2件)： 固-液界面  (CB12050B) ,  有機けい素化合物  (CF08030C)

物質索引 (5件)： オクタデシルトリメトキシシラン ,  フェニルトリメトキシシラン ,  1H,1H,2H,2H-ペルフルオロデシルトリメトキシシラン ,  3,3,3-トリフルオロプロピルトリメトキシシラン ,  2-フェニルエチルトリメトキシシラン

引用文献 (12件)：

• 1) K. Hayashi, H. Sugimura, O. Takai, Jpn. J. Appl. Phys. 2001, 40, 4344.
• 2) D. Devaprakasam, S. Sampath, S. K. Biswas, Langmuir 2004, 20, 1329.
• 3) T. Furuta, A. Nakajima, M. Sakai, T. Isobe, Y. Kameshima, K. Okada, Langmuir 2009, 25, 5417.
• 4) V. V. Tsukruk, Adv. Mater. 2001, 13, 95.
• 5) X. D. Xiao, G. Liu, D. H. Charych, M. Salmeron, Langmuir 1995, 11, 1600.

タイトルに関連する用語 (3件)： 疎水性 ,  シラン ,  摩擦力