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J-GLOBAL ID：201502217508080416   整理番号：15A1045986

スピンコート法を用いた三酸化モリブデン薄膜の作製と温度特性の評価

著者 (3件)： 柿木雄飛 (同志社大 大学院) ,  江本顕雄 (同志社大 大学院) ,  大谷直毅 (同志社大 大学院)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 76th  ページ： ROMBUNNO.14P-PA13-16  発行年： 2015年08月31日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *酸化モリブデン ,  *薄膜 ,  *薄膜成長 ,  *スピンコーティング ,  *温度依存性 ,  FTIR分光法 ,  原子間力顕微鏡
準シソーラス用語： *三酸化モリブデン ,  *酸化物薄膜

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  酸化物の結晶成長  (BK13050I)

タイトルに関連する用語 (6件)： スピンコート ,  三酸化モリブデン ,  薄膜 ,  作製 ,  温度特性 ,  評価