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J-GLOBAL ID：201502218048769786   整理番号：15A0958846

収差補正された走査透過電子顕微鏡法のためのモノクロメータの開発

Development of a monochromator for aberration-corrected scanning transmission electron microscopy

著者 (12件)： MUKAI Masaki (JEOL Ltd., Tokyo, JPN) ,  OKUNISHI Eiji (JEOL Ltd., Tokyo, JPN) ,  ASHINO Masanori (JEOL Ltd., Tokyo, JPN) ,  OMOTO Kazuya (JEOL Ltd., Tokyo, JPN) ,  FUKUDA Tomohisa (JEOL Ltd., Tokyo, JPN) ,  IKEDA Akihiro (JEOL Ltd., Tokyo, JPN) ,  SOMEHARA Kazunori (JEOL Ltd., Tokyo, JPN) ,  KANEYAMA Toshikatsu (JEOL Ltd., Tokyo, JPN) ,  SAITOH Tomohiro (Japan Fine Ceramics Center, Nagoya, JPN) ,  HIRAYAMA Tsukasa (Japan Fine Ceramics Center, Nagoya, JPN) ,  IKUHARA Yuichi (Japan Fine Ceramics Center, Nagoya, JPN) ,  IKUHARA Yuichi (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： Microscopy  (Microscopy)
巻： 64  号： 3  ページ： 151-158  発行年： 2015年06月 
JST資料番号： W1384A  ISSN： 2050-5698  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,走査透過電子顕微鏡法における電子プローブのサイズを0.1nmのオーダーにすめために,球面収差を補正する統合二重Wienフィルタシステムをもつモノクロメータを備えた新しい200kVの分析電子顕微鏡の開発を報告した。これにより原子スケールにおける電子エネルギー損失分光法(EELS)分析を用いて材料の詳細な電子構造の研究が可能になる。高単色化された等方的円形電子プローブが試料面上に生成され,エネルギー分解能は0.1sの捕捉時間で200kVにおいて36meVおよび60kVにおいて30meVであった。EELS写像を単色化電子プローブによりSrTiO₃上で行い,146meVの分解能を得た。

シソーラス用語： *透過型走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  *モノクロメータ ,  *収差補正 ,  電子プローブ ,  球面収差 ,  フィルタ ,  電子エネルギー損失分光法 ,  電子構造 ,  エネルギー分解能 ,  写像 ,  制御 ,  透過型電子顕微鏡
準シソーラス用語： サイズ制御 ,  原子スケール ,  原子分解能 ,  走査型透過電子顕微鏡法 ,  単色 ,  分析電子顕微鏡

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  分光法と分光計一般  (BD07041Q)

引用文献 (23件)：

• Muller D A, Fitting Kourkoutis L, Murfitt M J, Song H, Hwong H Y, Silcox J, Dellby N, Krivanek O L (2008) Atomic-scale chemical imaging of composition and bonding by aberration-corrected microscopy. Science 319: 1073-1076.
• Okunishi E, Sawada H, Kondo Y, Kersker M (2006) Atomic resolution elemental map of EELS with a Cs corrected STEM. Microsc. Microanal. 13(Suppl. 2): 1150-1151.
• Lupini A R, Pennycook S J (2003) Localization in elastic and inelastic scattering. Ultramicroscopy 96: 313-322.
• Varela M, Findlay S D, Lupini A R, Christen H M, Borisevich A Y, Dellby N, Krivanek O L, Nellist P D, Oxley M P, Allen L J, Pennycook S J (2004) Spectroscopic imaging of single atoms within a bulk solid. Phys. Rev. Lett. 92: 095502.
• Curtis G H, Silcox J (1971) A Wien filter for use as an energy analyzer with an electron microscope. Rev. Sci. Instrum. 42: 630-637.

タイトルに関連する用語 (4件)： 収差補正 ,  走査透過電子顕微鏡 ,  モノクロメータ ,  開発