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J-GLOBAL ID：201502218390663116   整理番号：15A1379269

マイクロスケール温度測定:レビュー

Microscale thermometry: A review

著者 (6件)： KIM Myeongsub Mike (Dep. of Ocean and Mechanical Engineering, Florida Atlantic Univ., 777 Glades Road, Boca Raton, FL 33431, USA) ,  GIRY Alexandre (Inst. Universitaire Technologique de LORIENT, departement de Genie Thermique et Energie (GTE), Univ. de Bretagne Sud ...) ,  MASTIANI Mohammad (Dep. of Ocean and Mechanical Engineering, Florida Atlantic Univ., 777 Glades Road, Boca Raton, FL 33431, USA) ,  RODRIGUES Gustavo O. (Dep. of Ocean and Mechanical Engineering, Florida Atlantic Univ., 777 Glades Road, Boca Raton, FL 33431, USA) ,  REIS Alessandro (Dep. of Ocean and Mechanical Engineering, Florida Atlantic Univ., 777 Glades Road, Boca Raton, FL 33431, USA) ,  MANDIN Philippe (Inst. Universitaire Technologique de LORIENT, departement de Genie Thermique et Energie (GTE), Univ. de Bretagne Sud ...)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 148  ページ： 129-142  発行年： 2015年12月01日 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)における最近の進歩は,小さなスケールでこれらデバイスの流体流を完全にキャラクタライズするために,流体速度と温度のような物理パラメータの正確な情報を提供する最先端技術を要求している。特に,従来方法を使ってマイクロスケールでの温度場測定は,この技術における空間解像度の限界によって困難である。本稿は,バルク流体または壁面温度場測定のための様々な先進マイクロスケール温度測定技術の包括的レビューを提供する。従前の刊行物と異なり,本レビューはいかにマイクロスケールでの温度情報を測定するかに基づき,すなわち接触または非接触法かによっての温度測定技術分類に焦点を合わせている。本稿は,各温度測定技術測定原理の詳細を記し,それらの広範囲な応用を含んでいる。接触ベースの温度測定に対して,マイクロ熱電対の最新の製造と測定結果を紹介し,続いて走査温度プローブと原子間力顕微鏡(AFM)温度プローブを議論した。一方,ナノ接触ベースの温度測定技術は,光学的温度測定,液晶温度測定,赤外温度測定,Raman分光を含めて広範囲でまとめた。空間,時間温度解像度の情報を有する他の方法とくらべての各技術の強みと弱みを紹介し検討した。本レビューは装置の入手しやすさ,システム限界,温度分解能のような鍵となる要求を考慮して,最近のマイクロスケール温度測定技術の利点と弱点に関して読者に全体的ガイドラインを提供するものである。Copyright 2016 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *温度測定 ,  長さ ,  接触 ,  温度 ,  分解能 ,  *レビュー ,  MEMS ,  原理 ,  熱電対
準シソーラス用語： *マイクロスケール ,  解像度 ,  測定原理 ,  非接触

分類 (1件)： 温度測定,温度計  (AD06010K)

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロスケール ,  温度測定 ,  レビュー