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J-GLOBAL ID：201502220019543226   整理番号：15A0970745

IC集積の上の表面微細加工した磁力計/加速度計の結合

Surface Micromachined Combined Magnetometer/Accelerometer for Above-IC Integration

著者 (4件)： ELSAYED Mohannad Yomn (McGill Univ., QC, CAN) ,  CICEK Paul-Vahe (McGill Univ., QC, CAN) ,  NABKI Frederic (Univ. Quebec a Montreal, QC, CAN) ,  EL-GAMAL Mourad N. (McGill Univ., QC, CAN)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 24  号： 4  ページ： 1029-1037  発行年： 2015年08月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： IC上にセンサを作ると読み出し回路に伴う寄生効果が少なく感度が改善される。本稿では磁力計と加速度計を同一表面の微細加工構造で共有させた。Lorentz力を使った2D面内磁場測定を直交する二つの電流のスイッチングで行い,同時に電流をスイッチオフし面外加速の1D加速度計とした。提案する設計は磁力と慣性力を分離して測定でき,単一デバイスの下で高精度が得られる。センサは大気圧で静的動作し真空パッケージを要しない。真空下の共振動作では感度が上がる。デバイスは低温表面微細加工技術で作られ,標準のCMOS基板上に集積されている。デバイスの共振周波数は10mTorrの真空下で6.53jHzであり品質係数は30である。個別電子機器を使って測定したデバイスの磁場および加速度感度は静的動作でそれぞれ1.57pF/Tと1.02fF/gである。

シソーラス用語： *MEMS ,  Lorentz力 ,  *加速度計 ,  マイクロマシニング ,  炭化ケイ素 ,  *磁力計 ,  磁場測定 ,  力 ,  慣性力 ,  共振周波数 ,  係数 ,  集積回路
準シソーラス用語： IC【集積回路】 ,  SiC ,  磁力 ,  *表面マイクロマシニング ,  品質係数

分類 (2件)： その他の固体デバイス  (NC03150A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： IC ,  集積 ,  微細加工 ,  磁力計 ,  加速度計