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J-GLOBAL ID：201502220763079970   整理番号：15A0847112

ALD-Al₂O₃に埋め込まれた多結晶シリコンナノワイヤーの光音響分光による研究=シリコンをナノワイヤー化したときの光音響特性の変化=

著者 (4件)： 宮崎尚 (防衛大) ,  守本純 (防衛大) ,  宮島晋介 (東京工大) ,  加藤慎也 (科学技術振興機構)
資料名： 超音波Techno  (超音波テクノ)
巻： 27  号： 4  ページ： 61-65  発行年： 2015年08月01日 
JST資料番号： L2344A  ISSN： 0916-2410  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： シリコンは,現在の産業に必要不可欠な材料であるが,現在,その物性限界値に迫ろうとしている。物性限界値に近づきつつあるシリコンをさらに高性能化させようと多くの研究が行われている。筆者等は,シリコンを微細化(ナノワイヤ化)し,量子閉じ込め効果によってバンドギャップを拡大することで,太陽電池の変換効率を向上させることを目的としている。ナノワイヤ化したシリコン試料のXRD,ラマン散乱分光,分光透過率,反射率および光音響分光法(PAS)測定を行った。XRDパターンやラマンスペクトルからは,多結晶ナノワイヤ化した後の試料では,大きな変化は確認できなかった。分光透過率および反射率から求めた吸光度やバンドギャップは,測定に不適当であることが確認された。これは,試料のナノワイヤ化の影響を受け,光の散乱が増加し,信号の検出に影響を与えたためである。PAS測定を行った結果,このような光の散乱の影響を無視し,試料の吸収特性を直接得ることができた。バンドギャップは,ナノワイヤ化した試料のナノワイヤの直径が量子効果を発現する直径よりも大きかったことから,バルクの特性と同じであった。しかし,ナノワイヤ化したために,光を吸収する体積が減少し,その結果,光音響(PA)信号強度に影響を与えている可能性が高いことが分かった。

シソーラス用語： 光音響効果 ,  単原子層 ,  化学蒸着 ,  酸化アルミニウム ,  *ポリシリコン ,  *ナノワイヤ ,  *光音響分光法 ,  太陽電池 ,  リソグラフィー ,  アモルファスシリコン ,  X線回折 ,  Raman散乱

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： ALD ,  Al2O3 ,  多結晶シリコン ,  ナノワイヤー ,  光音響分光 ,  研究 ,  シリコン ,  音響特性