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J-GLOBAL ID：201502221354720464   整理番号：15A0532014

フッ素レーザを用いた鉄薄膜表面への微細周期構造の作製

Fabrication of Periodic Micro/nanostructure on Iron Thin Film Surface Using Fluorine Laser

著者 (2件)： 大越昌幸 (防衛大) ,  山下嗣人 (関東学院大)
資料名： 電気学会光・量子デバイス研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： OQD-15  号： 11-16.18-19  ページ： 27-29  発行年： 2015年03月06日 
JST資料番号： Z0922A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 筆者らは,波長157nmのフッ素(F₂)レーザを用いて,シリコーンゴムやAl薄膜の表面改質を行ってきた。本論文では,直径2.5μmのシリカ微小球をFe薄膜表面に単層で整列し,微小球側からF₂レーザを照射することで。Fe薄膜表面に隆起状の微細周期構造を形成することができた。また,微細周期構造が形成されたFe薄膜は,撥水性を呈することも認められた。微細周期構造を形成した後,再度F₂レーザーを照射することにより,微細構造表面にFe₃O₄酸化改質層を形成し,疑似海水中で高い耐食性を示すことも明らかとなった。

シソーラス用語： *気体レーザ ,  *フッ素 ,  鉄 ,  *金属薄膜 ,  *微細構造 ,  周期構造 ,  *表面改質 ,  *疎水性 ,  レーザ加工 ,  実験 ,  *レーザ照射 ,  酸化鉄 ,  ナノ粒子 ,  耐食性
準シソーラス用語： シリカナノ粒子 ,  フッ素レーザ ,  四三酸化鉄 ,  撥水性

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  レーザの応用  (BD04100V)

引用文献 (8件)：

• H. Takao, M. Okoshi, and N. Inoue: ”Fabrication of SiO₂-humps on silicone rubber using F₂ laser”, Jpn. J. Appl. Phys. 41, pp.L1088-L1089 (2001)
• M. Okoshi, T. Kimura, H. Takao, N. Inoue and T. Yamashita: ”Photochemical modification of silicone films using F₂ laser for selective chemical etching”, Jpn. J. Appl. Phys. 43, pp.3438-3442 (2004)
• M. Okoshi, J. Li, and P.R. Herman: ”157-nm F₂-laser writing of silica optical waveguides in silicone rubber”, Opt. Lett. 30, pp.2730-2732 (2005)
• H. Takao, H. Miyagami, M. Okoshi and N. Inoue: ”Microlenses fabricated on silicone rubber using an F₂ laser”, Jpn. J. Appl. Phys. 44, pp.1808-1811 (2005)
• K. Iwai, M. Okoshi, H. Nojiri and N. Inoue: ”Surface and interface modification of aluminum thin films on silica glass substrate using 157 nm F₂ laser for selective metallization” Jpn. J. Appl. Phys. 50. 022702-1-022702-5 (2011)

タイトルに関連する用語 (6件)： フッ素レーザ ,  鉄 ,  薄膜 ,  微細 ,  周期構造 ,  作製