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J-GLOBAL ID：201502240789137684   整理番号：15A0363396

SEM,TEMを用いたメゾスコピック材料のための試料作製法-FIB,大気下ピックアップ法の応用-

著者 (4件)： 鈴木俊明 (日本電子) ,  中嶌香織 (日本電子) ,  西岡秀夫 (日本電子) ,  本橋光也 (東京電機大 工)
資料名： 材料の科学と工学  (Materials Science and Technology of Japan)
巻： 52  号： 1  ページ： 6-9  発行年： 2015年02月20日 
JST資料番号： G0788A  ISSN： 1347-4774  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： さまざまな材料の物性測定にはFIB(集束イオンビーム装置)とガラスマニピュレータによる大気下での試料搬送が最適とされている。単なる形態観察に限らず,SEM,TEMなど顕微鏡観察には装置内での加熱,インデンテーション,通電,冷却などの変化をin-situ観察できる。いくつかの試料調整例を示した。金属の合金化にともなう形態,組成変化を連続して観察し,そして分析した。針状構造,ワイヤ状構造体,ロール状構造体の観察事例を提示した。

シソーラス用語： *顕微鏡観察 ,  走査電子顕微鏡 ,  透過型電子顕微鏡 ,  *メソスコピック系 ,  *試料調製 ,  *集束イオンビーム ,  加熱 ,  マニピュレータ ,  相転移 ,  合金化 ,  *微細構造 ,  相組成 ,  ロボット ,  改変
準シソーラス用語： FIB【ビーム】 ,  SEM【顕微鏡】 ,  TEM【顕微鏡】 ,  試料作製

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (8件)：

• 鈴木:FIBの諸特性と試料作製への応用,JEOL Application Note IB01
• 鈴木,遠藤,奥西,久芳:日本電子ニュース,Vol.35 No.1 p.20 (2003)
• 中嶌,森田,新美,三平,鈴木:ぶれいず 第48巻 119号 p.38 (2014)
• Y. Takahshi, H. Kondo, H. Niimi, T. Nokuo and T. Suzuki: Sensors and Actuators A 206, p.81 (2014)
• 鈴木,高橋:まてりあ 第51巻 第12号 p.545 (2012)

タイトルに関連する用語 (7件)： SEM ,  TEM ,  試料作製 ,  FIB ,  大気 ,  ピックアップ ,  応用