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J-GLOBAL ID：201502245708733930   整理番号：15A0654143

ナイフの揺れ運動によるファセット及びリップル形成無しの単結晶ダイヤモンドナイフのイオンビーム研ぎ

Ion beam sharpening of a single-crystal diamond knife without facet and ripple formations by swinging motion of knife

著者 (2件)： FUKUYAMA Ryo (Dep. of Applied Electronics, Tokyo Univ. of Sci., 6-3-1 Nijuku, Katsushika, Tokyo 125-8585, JPN) ,  TANIGUCHI Jun (Dep. of Applied Electronics, Tokyo Univ. of Sci., 6-3-1 Nijuku, Katsushika, Tokyo 125-8585, JPN)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 141  ページ： 245-249  発行年： 2015年06月15日 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 天然単結晶ダイヤモンドは,超高強度,超高硬度,及び非常に低い摩擦係数を含めたユニークな特性をもち,それを,電子顕微鏡のための超薄及び滑らかな部分を作るのに用いる,ナイフのための理想的な源材料にしている。チップにおけるファセット及び切削表面におけるリップル形成は,小頂角のダイヤモンドナイフの研ぎにおける共通の問題である。本論文において,ダイヤモンドのイオンビーム研ぎの間,試料を揺らすことを含む方法を提案した。頂角60°(5μm半径)をもつダイヤモンドナイフを試料として用い,1keVAr⁺あるいは0.5keV O⁺/O₂⁺イオンにより電子サイクロトロン共鳴型イオンビーム加工装置を使って機械加工した。ダイヤモンドナイフを,ファセットあるいはリップルの形成無しで,与えられた揺れ角で研磨できることを示した。処理中における±30°の角度を通してのナイフの揺動は,チップ半径50nm及び頂角57°の非常に鋭いダイヤモンドナイフをもたらした。O⁺/O₂⁺ビームによる機械加工時間は,Ar⁺ビームのそれよりも約4倍速かった。プロセシング中のダイヤモンドナイフのプロフィルの変化も計算した。計算結果は実験結果と一致し,ナイフ形状の予測及び加工時間の計算を可能にした。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *刃物 ,  *ダイヤモンド ,  *単結晶 ,  *強度 ,  *硬度 ,  *摩擦係数 ,  電子顕微鏡 ,  *超薄膜 ,  半導体チップ ,  加工面 ,  *ファセット ,  脈動 ,  *イオンビーム加工 ,  イオンビームスパッタリング
準シソーラス用語： ダイヤモンドナイフ ,  超高強度 ,  超高硬度 ,  切削面 ,  リプル【脈動】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： ナイフ ,  揺れ ,  運動 ,  単結晶ダイヤモンド ,  イオンビーム ,  研ぎ