文献

J-GLOBAL ID：201502275129297881   整理番号：15A0726722

RFスパッタ法により作製したTiN_x薄膜の水素透過性

著者 (5件)： 倉千晴 (北大) ,  青木芳尚 (北大) ,  青木芳尚 (JST-さきがけ) ,  辻悦司 (北大) ,  幅崎浩樹 (北大)
資料名： 電気化学会大会講演要旨集(CD-ROM)
巻： 82nd  ページ： ROMBUNNO.3H28  発行年： 2015年03月09日 
JST資料番号： Y0048B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： スパッタリング ,  *チタン化合物 ,  *窒化物 ,  不定比化合物 ,  無機分離膜 ,  *選択透過膜 ,  *水素 ,  薄膜 ,  速度 ,  膜透過 ,  *水素透過膜 ,  *窒化チタン ,  透過速度 ,  膜

分類 (4件)： 塩  (CD01050V) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  膜分離  (XD02120Z) ,  気体燃料の精製  (YE02050B)

タイトルに関連する用語 (4件)： RFスパッタ法 ,  作製 ,  薄膜 ,  水素透過性