エピタキシャルPb(Zr,Ti)O<sub>3</sub>薄膜を用いた圧電マイクロマシニング超音波変換器の振動解析および評価

TAKASHIMA Daisuke; OZAKI Katsuya; NISHIMURA Masato; OKADA Nagaya; AKAI Daisuke; ISHIDA Makoto

文献

J-GLOBAL ID：201502276560119954 整理番号：15A0343804

エピタキシャルPb(Zr,Ti)O₃薄膜を用いた圧電マイクロマシニング超音波変換器の振動解析および評価

Vibration Analysis and Evaluation of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers Using Epitaxial Pb(Zr,Ti)O₃ Thin Film

出版者サイト {{ this.onShowPLink() }} 複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=15A0343804&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=15A0343804&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=L0338A") }}

著者 (6件)： , , , , ,
資料名：
巻： 27 号： 1 ページ： 1-10 発行年： 2015年
JST資料番号： L0338A ISSN： 0914-4935 CODEN： SENMER 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

圧電性マイクロマシニング超音波変換器(pMUT)の送受信特性を改善するため,pMUTのダイヤフラム材料SiN_xの厚さを有限要素法(FEM)を用いた振動解析により調べた。FEM結果で分かったように,SiN_x厚を1,0μmから0.5μmに変えると,その振動振幅は1.7倍に増加する。0.5μm厚のSiN_x層を用いた新構造のpMUTを作製し,評価した。このpMUTの振動をレーザDoppler振動計(LDV)で評価し,ここで作製したpMUTの振動振幅は著者らが以前に報告したpMUTのものの3倍であった。送信超音波音圧や超音波感度などの超音波特性も評価し,以前のpMUTのものと比較する。ここで作製したpMUTの送信超音波音圧および超音波感度は,従来のpMUTで示したものよりもそれぞれ11倍および5倍大きい。(翻訳著者抄録)

, , , , , , , , , , , , , , , , , , , ,

音響変換器,その他の機器 , 圧電デバイス

引用文献 (16件)：

R. Swartz and J. Plummer: IEEE Trans. Electron Devices 26 (1979) 1921.
J. Bernstein, S. Finberg, K. Houston, L. Niles, H. Chen, L. Cross, K. Li and K. Udayakumar: IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 44 (1997) 960.
K. Yamashita, H. Katata, M. Okuyama, H. Miyoshi, G. Kato, S. Aoyagi and Y. Suzuki: Sens. Actuators, A 97-98 (2002) 302.
F. Akasheh, T. Myers, J. D. Fraser, S. Bose and A. Bandyopadhyay: Sens. Actuators, A 111(2004) 275.
S. Machida, T. Kobayashi, M. Degawa, T. Takezaki, H. Tanaka, S. Migitaka, K. Hashiba, H. Enomoto, T. Nagata, Y. Yoshimura, K. Asafusa, K. Ishida, S. Sano and M. Izumi: Transducers 2009 Tech. Dig. (2009) 2218.

, , , , , , , , , ,

前のページに戻る

エピタキシャルPb(Zr,Ti)O3薄膜を用いた圧電マイクロマシニング超音波変換器の振動解析および評価

エピタキシャルPb(Zr,Ti)O₃薄膜を用いた圧電マイクロマシニング超音波変換器の振動解析および評価