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J-GLOBAL ID：201502282258411867   整理番号：15A0654149

熱ローラナノインプリントによる光引き出し構造の高速複製

High-speed replication of light-extraction structure with thermal roller nanoimprinting

著者 (5件)： TAKAHASHI K. (Dep. of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo ...) ,  NAGATO K. (Dep. of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo ...) ,  NAGATO K. (Res. Fellow of Precursory Res. for Embryonic Sci. and Technol. (PRESTO), Japan Sci. and Technol. Agency (JST), JPN) ,  HAMAGUCHI T. (Dep. of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo ...) ,  NAKAO M. (Dep. of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo ...)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 141  ページ： 285-288  発行年： 2015年06月15日 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 熱ローラナノインプリント(TRN)による,有機発光ダイオード(OLED)の光引き出し構造の高速複製を実証した。使用する型は,光引き出し構造としてマイクロレンズアレイ(MLA)パターンを有するNi基板からなっていた。ローラの型を加熱した後,ポリメタクリル酸メチル(PMMA)膜にプレスした。プレスしたPMMAの加熱表面は,低い粘度をもち,成形パターンを満たし,したがって,ナノ構造を複製した。この方法で,従来の熱ナノインプリンティングと較べて,短いサイクル時間で,複製を達成できた。複製パターン高さに及ぼすTRNにおける加熱時間の効果を,熱伝導計算により,及び実験的に研究した。さらに,光引き出し効率と複製パターン高さとの間の関係を,光線追跡法及び光学的測定により研究した。15μm高さをもつMLAパターンの型を用いて,2500mm²/sの速度での複製を実証することに成功した。複製パターン高さは11μmで,パターン形成膜の光引き出し効率は,平坦膜の1.37倍であった。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *押付成形 ,  *パターン形成 ,  微細加工 ,  *複製 ,  *有機半導体 ,  *発光ダイオード ,  *効率 ,  アレイ ,  マイクロレンズ ,  ニッケル ,  基板 ,  ポリメタクリル酸メチル ,  高分子膜 ,  ナノ構造 ,  時間 ,  時間依存性 ,  熱伝導 ,  光線追跡 ,  光学的測定
準シソーラス用語： ナノインプリンティング ,  OLED ,  *光取出し効率 ,  高速複製 ,  マイクロレンズアレイ ,  サイクル時間 ,  加熱時間

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  発光素子  (NC03082G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 熱ローラ ,  ナノインプリント ,  引き出し ,  複製