文献

J-GLOBAL ID：201502293834058703   整理番号：15A0590272

プラズマ増強化学蒸着で製作した工具鋼上の保護的二重層皮膜

Protective double-layer coatings prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition on tool steel

著者 (14件)： MURESAN Mihai-George (Dep. of Physical Electronics, Fac. of Sci., Masaryk Univ., Kotlarska 2, Brno 61137, CZE) ,  MURESAN Mihai-George (Plasma Technologies, CEITEC, Central European Inst. of Technol., Masaryk Univ., Kotlarska, 2, Brno 61137, CZE) ,  CAMPBELL Anna Charvatova (Dep. of Nanometrology, Czech Metrology Inst., Okruzni 31, 638 00 Brno, CZE) ,  ONDRACKA Pavel (Dep. of Physical Electronics, Fac. of Sci., Masaryk Univ., Kotlarska 2, Brno 61137, CZE) ,  ONDRACKA Pavel (Plasma Technologies, CEITEC, Central European Inst. of Technol., Masaryk Univ., Kotlarska, 2, Brno 61137, CZE) ,  BURSIKOVA Vilma (Dep. of Physical Electronics, Fac. of Sci., Masaryk Univ., Kotlarska 2, Brno 61137, CZE) ,  BURSIKOVA Vilma (Plasma Technologies, CEITEC, Central European Inst. of Technol., Masaryk Univ., Kotlarska, 2, Brno 61137, CZE) ,  PERINA Vratislav (Inst. of Nuclear Physics, Acad. of Sci. of the Czech Republic, Rez, CZE) ,  POLCAR Tomas (Engineering Materials, Univ. of Southampton, Highfield SO17 1BJ, Southampton, GBR) ,  REUTER Stephan (Leibniz Inst. for Plasma Sci. and Technol., INP Greifswald & ZIK Plasmatis, Greifswald, Felix-Hausdorff Str. 2 ...) ,  HAMMER Malte U. (Leibniz Inst. for Plasma Sci. and Technol., INP Greifswald & ZIK Plasmatis, Greifswald, Felix-Hausdorff Str. 2 ...) ,  VALTR Miroslav (Dep. of Nanometrology, Czech Metrology Inst., Okruzni 31, 638 00 Brno, CZE) ,  ZAJICKOVA Lenka (Dep. of Physical Electronics, Fac. of Sci., Masaryk Univ., Kotlarska 2, Brno 61137, CZE) ,  ZAJICKOVA Lenka (Plasma Technologies, CEITEC, Central European Inst. of Technol., Masaryk Univ., Kotlarska, 2, Brno 61137, CZE)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 272  ページ： 229-238  発行年： 2015年06月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 水素もしくはアルゴンを混合したメタンを使用した低圧無線周波数容量結合放電(13.56MHz)によって高速度鋼基材に水素化したダイヤモンド状炭素薄膜を製作した。堆積過程の全期間にわたりrf放電でdcの自己バイアスが引き起こされ,イオンが基材に向かって加速された。付着を改良するために炭素薄膜堆積の前に基材にイオン窒化を施し,同じ反応器を使用して酸化ケイ素被膜を被覆した。堆積膜を光学的にキャラクタライズし(UV-IR),Rutherford後方散乱分光と弾性反跳検出の組合わせで原子組成を決定した。インデンテーション試験で炭素薄膜の高い硬度(~18GPa)を評価した。剥離試験によって酸化珪素中間層を使用した鋼基板に堆積された炭素薄膜の最大13.6Nの臨界荷重が明らかになった。摩擦係数はダイヤモンドに対する0.02から鋼に対する0.23まで変化した。これらの結果は商用のポテンシャルと同じプラズマ過程で堆積された酸化ケイ素中間層を使用することで鋼基板に剛い炭素薄膜を堆積することができることを示唆している。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *高速度鋼工具 ,  *プラズマCVD ,  *保護膜 ,  *多層膜 ,  *DLC膜 ,  水素化 ,  高周波放電 ,  アルゴン ,  混合気体 ,  前処理 ,  イオン窒化 ,  酸化ケイ素 ,  *セラミック被覆 ,  Rutherford散乱分光法 ,  放射線吸収・散乱分析 ,  化学組成 ,  原子 ,  硬さ試験 ,  載荷試験 ,  微小硬さ ,  剥離試験 ,  付着強さ ,  摩擦係数 ,  層 ,  *蒸着膜 ,  *被覆工具 ,  炭素材 ,  非晶質 ,  炭素 ,  薄膜 ,  アルカン
準シソーラス用語： *二層膜 ,  押込試験 ,  元素組成 ,  弾性反跳検出分析 ,  中間層 ,  非晶質炭素 ,  容量結合放電 ,  炭素膜

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  機械的性質  (WB02030U)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマ増強化学蒸着 ,  製作 ,  工具鋼 ,  二重層 ,  皮膜