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J-GLOBAL ID：201502295827406502   整理番号：15A0527760

ピコ秒レーザーパルスによるダイヤモンド状カーボン膜の照射

Irradiation of Diamond-like Carbon Films by Picosecond Laser Pulses

著者 (7件)： MARCINAUSKAS Liutauras (Kaunas Univ. Technol., Kaunas, LTU) ,  GRIGONIS Alfonsas (Kaunas Univ. Technol., Kaunas, LTU) ,  GEDVILAS Mindaugas (Center for Physical Sci. and Technol., Vilnius, LTU) ,  VIGRICAITE Lina (Kaunas Univ. Technol., Kaunas, LTU) ,  RACIUKAITIS Gediminas (Center for Physical Sci. and Technol., Vilnius, LTU) ,  RUTKUNIENE Zivile (Kaunas Univ. Technol., Kaunas, LTU) ,  CERNAUSKAS Marius (Kaunas Univ. Technol., Kaunas, LTU)
資料名： Journal of Laser Micro/Nanoengineering (Web)  (Journal of Laser Micro/Nanoengineering (Web))
巻： 10  号： 1  ページ： 43-47 (WEB ONLY)  発行年： 2015年02月 
JST資料番号： U0377A  ISSN： 1880-0688  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン上ダイヤモンド状カーボン(DLC)膜のピコ秒レーザー照射について調べた。赤外線(波長1064nm,流速量1.02J/cm²)及び紫外線(355nm,流速量0.79J/cm²)波長を有するNd:YVO₄レーザーにより,スポット当たり1,10,及び100パルス数をDLC膜に照射した。エネルギー分散型X線分光法及び微小ラマン分光測定により,DLCの完全なアブレーション領域が,10及び100パルスで1064nm波長のレーザービーム半径よりも狭いことを示した。一次高調波を照射した後のアブレーション領域の近傍で酸素濃度の増加を得た。第三高調波を用いた場合,微小ラマン及びSEM測定により,DLC膜がレーザスポット内で完全にアブレーションされることを実証した。100パルス後に,照射スポットの中心における炭化ケイ素の形成(SiC)を見出した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *パルスレーザ ,  *DLC膜 ,  基板 ,  ケイ素 ,  パルスレーザ照射 ,  赤外レーザ ,  紫外レーザ ,  *レーザアブレーション ,  *高調波 ,  顕微Raman分光法 ,  炭化ケイ素 ,  エネルギー分散X線分光分析
準シソーラス用語： *ピコ秒レーザ ,  *第三高調波

分類 (1件)： レーザの応用  (BD04100V)

引用文献 (24件)：

• E.G. Gamaly: Physics Reports, 508, (2011) 91.
• L. Li, M. Hong, M. Schmidt, M. Zhong, A. Malshe, B. Huis in’tVeld, and V. Kovalenko:, CIRP Ann. Manuf. Technol., 60, (2011) 735.
• F. Weng, C. Chen, and H. Yu: Mater. Design, 58, (2014) 412.
• R. Buividas, M. Mikutis, and S. Juodkazis: Prog. Quant. Electron., 38, (2014) 119.
• H. Fredriksson, D. Chakarov, and B. Kasemo: Carbon, 47, (2009) 1335.

タイトルに関連する用語 (3件)： ピコ秒レーザー ,  パルス ,  ダイヤモンド状カーボン