特許
J-GLOBAL ID：201503000529354731
モジュラクラスタツール
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
辻居 幸一
, 熊倉 禎男
, 弟子丸 健
, 井野 砂里
, 松下 満
, 倉澤 伊知郎
, 渡邊 徹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-096861
公開番号（公開出願番号）：特開2013-201438
特許番号：特許第5760034号
出願日： 2013年05月02日
公開日（公表日）： 2013年10月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 リニアドライブアセンブリであって、
テーブルプレートを有する筐体を含み、
前記筺体は、前記テーブルプレートより上にある第1の面において半導体ウエハを保持する第1のエンドエフェクタと、前記第1の面より上にある第2の面において半導体ウエハを保持する第2のエンドエフェクタとを有しており、前記第1および第2のエンドエフェクタは、共通の直線状の軸に沿って独立に動くように構成され、
前記第1および第2のエンドエフェクタのうちのそれぞれ1つのエンドエフェクタは、
前記共通の直線状の軸に沿って駆動されるように構成された中間ステージと、
前記中間ステージを前記テーブルプレート上で滑らせるために前記中間ステージと前記テーブルプレートの間に配置されたメインリニアベアリングと、
前記中間ステージより上に位置するエンドエフェクタステージと、
前記中間ステージを前記エンドエフェクタステージに対して移動させるために前記中間ステージと前記エンドエフェクタステージの間に配置された二次リニアベアリングと、
前記中間ステージに接続された第1のプーリおよび第2のプーリと、
前記第1のプーリおよび前記第2のプーリの周りに接続されたベルトと、によって規定され、
前記第1のプーリおよび前記第2のプーリは、前記中間ステージが駆動されるときに前記中間ステージと共に動き、
前記ベルトに対する第1の接続が前記エンドエフェクタステージに結合され、前記ベルトに対する第2の接続は、前記テーブルプレートに対して固定された取り付け台に結合され、前記ベルトの第1の接続および第2の接続が、前記第1のプーリと前記第2のプーリとの間で行われ、
前記中間ステージは、リニアモータによって駆動され、前記リニアモータは、磁石トラックと、モータコイルを含み、前記リニアモータは、前記中間ステージと一緒に動き、
前記共通の直線状の軸に沿った前記中間ステージの動きは、前記エンドエフェクタステージを前記共通の直線状の軸に沿って動かし、
前記第1のプーリおよび前記第2のプーリならびに前記ベルトは、前記エンドエフェクタステージに、前記テーブルプレート上の前記中間ステージの動きに対する前記エンドエフェクタステージの動きを増幅させ、
前記第1のプーリおよび前記第2のプーリならびに前記ベルトは、前記テーブルプレートに対する前記エンドエフェクタステージの動きが、前記テーブルプレート上の前記中間ステージの動きに対して2倍に増幅されるように寸法設定され、
更に、前記第1のエンドエフェクタおよび前記第2のエンドエフェクタをインデックス付けされた位置まで垂直方向に動かすように前記筐体内に延在する部材を含む垂直ドライブと、
前記テーブルプレートに接続され、前記第1のエンドエフェクタおよび前記第2のエンドエフェクタが、0度〜180度の間で回転することを可能にする回転ドライブと、
前記第1のエンドエフェクタ、前記第2のエンドエフェクタ、前記回転ドライブおよび前記垂直ドライブの動きを制御する機器コントローラと、を含むリニアドライブアセンブリ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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