特許
J-GLOBAL ID:201503001066437964

光電変換素子評価装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-213805
公開番号(公開出願番号):特開2015-076583
出願日: 2013年10月11日
公開日(公表日): 2015年04月20日
要約:
【課題】ロール・ツー・ロールにより生産される光電変換素子について、生産ライン段階で非接触で測定することにより、光電変換素子を傷付ることなく的確な特性評価判断が行える光電変換素子評価装置を提供すること。【解決手段】非接触により光電変換素子の評価を行う光電変換素子評価装置であって、 測定対象である光電変換素子にプローブ光を照射するプローブ光源と、 プローブ光が照射されている前記光電変換素子にパルス状のポンプ光を照射するポンプ光源と、 前記光電変換素子に照射される前記プローブ光の光量変化を検出する受光素子、とで構成されていることを特徴とするもの。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
非接触により光電変換素子の評価を行う光電変換素子評価装置であって、 測定対象である光電変換素子にプローブ光を照射するプローブ光源と、 プローブ光が照射されている前記光電変換素子にパルス状のポンプ光を照射するポンプ光源と、 前記光電変換素子に照射される前記プローブ光の光量変化の時間依存性を検出する受光素子、 とで構成されていることを特徴とする光電変換素子評価装置。
IPC (1件):
H01L 31/04
FI (1件):
H01L31/04 K
Fターム (1件):
5F151KA09
引用特許:
審査官引用 (2件)

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