特許
J-GLOBAL ID:201503002823053679
搬送装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
吉田 稔
, 田中 達也
, 仙波 司
, 鈴木 泰光
, 臼井 尚
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-136400
公開番号(公開出願番号):特開2015-009320
出願日: 2013年06月28日
公開日(公表日): 2015年01月19日
要約:
【課題】旋回範囲を大きくせず、大きなワークを搬送できる搬送装置の提供。【解決手段】右側回動部材41は基体11に対して回動可能に支持され、右側第1案内アーム43Aは、第1手首部14Aに連結され、第2方向X2に沿って延びる右側第1中間軸線43Aa周りに回動可能に右側回動部材に連結され、右側第2案内アーム43Bは第2手首部14Bに連結され、第2方向に沿って延びる右側第2中間軸線43Ba回りに回動可能に右側回動部材に連結され、右側第1中間軸線は、平面視において右側第2中間軸線に対して第1方向側に位置し、右側第1回動アーム41Aは、基体に対して第2方向に沿って延びる右側第1回動軸線41Aa周りに回動可能に基体に連結され、右側第2回動アーム41Bは、基体に対して第2方向に沿って延びる右側第2回動軸線41Ba周りに回動可能に基体に連結され、右側第1回動軸線は右側第2回動軸線に対して第1方向側に位置する。【選択図】図11
請求項(抜粋):
基体と、
第1移動部と、
前記第1移動部に対して第1方向側に位置する第2移動部と、
前記第1移動部および前記第2移動部を、前記第1方向に平行な平面に沿って前記基体に対して移動させる移動機構と、を備え、
前記移動機構は、回動部材と第1案内アームと第2案内アームと、を含み、
前記回動部材は、前記基体に対して回動可能に、前記基体に支持されており、
前記第1案内アームは、前記第1移動部に連結され、且つ、前記第1方向に直交する第2方向に沿って延びる第1中間軸線周りに回動可能に、前記回動部材に連結されており、
前記第2案内アームは、前記第2移動部に連結され、且つ、前記第2方向に沿って延びる第2中間軸線回りに回動可能に、前記回動部材に連結されており、
前記第1中間軸線は、平面視において、前記第2中間軸線に対して前記第1方向側に位置しており、
前記回動部材は、第1回動アームと第2回動アームとを含み、
前記第1回動アームは、前記基体に対して前記第2方向に沿って延びる第1回動軸線周りに回動可能に、前記基体に連結されており、
前記第2回動アームは、前記基体に対して前記第2方向に沿って延びる第2回動軸線周りに回動可能に、前記基体に連結されており、
前記第1回動軸線は、前記第2回動軸線に対して前記第1方向側に位置している、搬送装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (17件):
3C707BS23
, 3C707BS26
, 3C707CU00
, 3C707CY36
, 3C707NS13
, 5F131AA03
, 5F131AA32
, 5F131CA22
, 5F131DA02
, 5F131DA42
, 5F131DB02
, 5F131DB22
, 5F131DB52
, 5F131DB57
, 5F131DB83
, 5F131DB93
, 5F131FA26
引用特許:
出願人引用 (3件)
-
単一駆動式二重平面ロボット
公報種別:公表公報
出願番号:特願2000-532248
出願人:アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
-
搬送装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-326775
出願人:東京エレクトロン株式会社
-
移送装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-349923
出願人:三星電子株式会社
審査官引用 (3件)
-
単一駆動式二重平面ロボット
公報種別:公表公報
出願番号:特願2000-532248
出願人:アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
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搬送装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-326775
出願人:東京エレクトロン株式会社
-
移送装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-349923
出願人:三星電子株式会社
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