X線回折測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-107326
公開番号（公開出願番号）：特開2015-222235
出願日： 2014年05月23日
公開日（公表日）： 2015年12月10日
要約：

【課題】測定対象物が複雑な形状を有していても、測定対象物に対するX線の入射角度を精度よく設定値にする。【解決手段】測定対象物OBの測定箇所に水準器LVまたは水準器LHを吸着させて、測定対象物OBの姿勢を調整することにより、測定対象物OBの測定箇所が水平になるようにする。その後、測定箇所にX線の光軸の重力方向に対する角度を精度よく調整できる、又はX線の光軸の重力方向に対する角度が設定値に固定されているX線回折測定装置から、X線を出射し、発生したX線の回折光を受光することで回折環を撮像する。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

対象とする測定対象物を載置するステージと前記ステージの傾斜角度を任意の角度にするステージ姿勢変更機構と、前記測定対象物に向けてX線を出射するX線出射器と、前記X線出射器から前記測定対象物に向けてX線を照射して、前記測定対象物にて発生したX線の回折光を、前記X線出射器から出射されるX線の光軸に対して垂直な撮像平面にて受光し、前記撮像平面に前記X線の回折光の像である回折環を形成する回折環形成手段とを備えたX線回折測定システムを用いたX線回折測定方法において、前記測定対象物の測定箇所に、長尺部と、長尺部の先端にある別物体に吸着可能な平面部と、前記平面部が重力方向に対し垂直であるとき水平であることを示す表示部とを備える水準器を、前記平面部を吸着させることで取り付ける水準器取付ステップと、前記ステージ姿勢変更機構を操作して、前記水準器の表示部が水平を示すように前記ステージの傾斜角度を調整する測定対象物姿勢調整ステップと、前記回折環形成手段により回折環を形成する回折環形成ステップとを行うことを特徴とするX線回折測定方法。

IPC (1件)：

G01N 23/207

FI (1件)：

G01N23/207

Fターム (9件)：

2G001AA01 , 2G001BA18 , 2G001CA01 , 2G001DA02 , 2G001DA06 , 2G001DA09 , 2G001FA06 , 2G001PA11 , 2G001PA15

引用特許：

出願人引用 (5件)

X線回折装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-130085 出願人：株式会社島津製作所
特開昭62-223655
X線回折装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-094117 出願人：パルステック工業株式会社

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審査官引用 (5件)

X線回折装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-130085 出願人：株式会社島津製作所
特開昭62-223655
X線回折装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-094117 出願人：パルステック工業株式会社

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