特許
J-GLOBAL ID：201203081123754248

X線回折装置

発明者：
丸山 洋一

丸山 洋一 について


出願人/特許権者：
パルステック工業株式会社

パルステック工業株式会社 について


代理人 (2件)： 特許業務法人プロスペック特許事務所 ,  日比野 元彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-094117
公開番号（公開出願番号）：特開2012-225796
出願日： 2011年04月20日
公開日（公表日）： 2012年11月15日
要約：
【課題】回折環の形状を短時間で精度良く検出できる、安価なX線回折装置を提供する。【解決手段】測定対象物OBにX線を照射するX線出射器13、測定対象物OBにて回折したX線を受光して回折環を記録するイメージングプレート28を固定するテーブル27及びレーザ光をイメージングプレート28に照射して、回折環の形状を読み取るレーザ検出装置PUHを設ける。テーブル27の中心に、X線を通過させる貫通孔を設ける。回折環を撮像した後、スピンドルモータ24及びフィードモータ18によって、テーブル27を回転させるとともにイメージングプレート28の受光面に平行に移動させた状態で、レーザ検出装置PUHによって、イメージングプレート28にレーザ光を照射して、イメージングプレート28が発する光の強度が極大となるときのレーザ照射位置を取得する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
測定対象物に向けてX線を出射するX線出射器と、 中央に前記X線を通過させる貫通孔が形成されたテーブルと、 前記テーブルに固定されていて、前記測定対象物にて回折した前記X線の回折光を受光する受光面を有し、前記回折光の像である回折環を記録する回折光受光器と、 前記回折光受光器の受光面にレーザ光を照射するとともに、前記レーザ光の照射によって前記回折光受光器から出射された光の強度を検出するレーザ検出装置と、 前記テーブルを、前記貫通孔の中心軸回りに回転させる回転手段と、 前記テーブルを、前記回折光受光器の受光面に平行な方向に、前記レーザ検出装置に対して相対的に移動させる移動手段と、 前記回転手段によって前記テーブルが回転され、かつ前記移動手段によって前記テーブルが移動されている状態で、前記レーザ検出装置によって繰り返し検出された光の強度を、それぞれの光の強度の検出時における前記テーブルの回転角度及び前記レーザ検出装置に対する前記テーブルの相対位置に関連付けて複数の読み取りデータとしてそれぞれ記憶するデータ読み取り手段と、 前記記憶した複数の読み取りデータを用いて前記回折環の形状を検出する回折環形状検出手段を備えたことを特徴とするX線回折装置。
IPC (1件)：
G01N 23/20
FI (1件)：
G01N23/20
Fターム (11件)：
2G001AA01 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001GA12 ,  2G001GA13 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001KA08 ,  2G001KA12
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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