アザ-ポリシラン前駆体、及びそれを含む膜の堆積方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 出野知 , 関根宣夫 , 塩川和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-130276
公開番号（公開出願番号）：特開2015-015465
出願日： 2014年06月25日
公開日（公表日）： 2015年01月22日
要約：

【課題】ケイ素含有膜を形成するための前駆体及び方法を提供する。【解決手段】少なくとも2つのSi-N結合、少なくとも1つのSi-Si結合、及び少なくとも2つのSi-H2基を含み、次の式IA、IB及びICによって表わされる、少なくとも1種のアザ-ポリシラン前駆体。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

少なくとも2つのSi-N結合、少なくとも1つのSi-Si結合、及び少なくとも2つのSi-H2基を含み、次の式IA、IB及びICによって表わされる、少なくとも1種のアザ-ポリシラン前駆体:

IPC (6件)：

H01L 21/316 , H01L 21/318 , H01L 21/205 , C23C 16/42 , C23C 16/455 , C08G 77/60

FI (6件)：

H01L21/316 B , H01L21/318 B , H01L21/205 , C23C16/42 , C23C16/455 , C08G77/60

Fターム (65件)：

4J246AA06 , 4J246AA10 , 4J246AA19 , 4J246BB080 , 4J246BB081 , 4J246BB460 , 4J246BB461 , 4J246CA01X , 4J246CA010 , 4J246FA561 , 4J246GD08 , 4J246GD09 , 4J246HA63 , 4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030AA13 , 4K030AA14 , 4K030AA16 , 4K030AA17 , 4K030BA40 , 4K030BA44 , 4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030EA03 , 4K030FA01 , 4K030FA10 , 4K030HA01 , 4K030JA10 , 4K030LA15 , 5F045AA04 , 5F045AA05 , 5F045AA06 , 5F045AA07 , 5F045AA08 , 5F045AB04 , 5F045AB32 , 5F045AB33 , 5F045AB34 , 5F045AC07 , 5F045AC11 , 5F045AC12 , 5F045AC15 , 5F045AC16 , 5F045AC17 , 5F045AD04 , 5F045AD05 , 5F045AD06 , 5F045EE19 , 5F045EH18 , 5F058BC02 , 5F058BC04 , 5F058BC08 , 5F058BC10 , 5F058BC11 , 5F058BC20 , 5F058BF02 , 5F058BF03 , 5F058BF04 , 5F058BF05 , 5F058BF06 , 5F058BF07 , 5F058BF22 , 5F058BF29 , 5F058BF30 , 5F058BF37

引用特許：

審査官引用 (5件)

ハロゲン化オルガノアミノシラン前駆体及びそれを含む膜の堆積方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-215012 出願人：エアプロダクツアンドケミカルズインコーポレイテッド
環状アザシラ化合物
公報種別：公表公報出願番号：特願2011-551456 出願人：ワッカーケミーアクチエンゲゼルシャフト
ヒドロシラン誘導体、その製造方法、ケイ素含有薄膜の製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-112373 出願人：公益財団法人相模中央化学研究所

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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