特許
J-GLOBAL ID：201503004480601954
物体例えばウェハ内に埋もれている構造を制御可能に明示するための方法およびデバイス
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
森田 憲一
, 山口 健次郎
, 長山 弘典
, 尾崎 祐朗
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-527896
公開番号（公開出願番号）：特表2015-536037
出願日： 2013年08月20日
公開日（公表日）： 2015年12月17日
要約：
イメージングセンサ(22)と、前記イメージングセンサ(22)上で視野内の物体(20)の画像(73、74)を生成することが可能な光学イメージング手段(34)と、照明ビーム(25、30)の生成及び反射中の前記視野の照明を行う照明手段(23、27)とを利用して、物体(20)例えばウェハの表面において、前記物体(20)内に封入されている構造(70a、70b、70c)例えばビアを検査するためのイメージング方法およびデバイスであって、上記ビーム(25、30)の光が本質的に上記物体(20)内に貫入可能であるようにスペクトル成分が物体(20)の性質に適合している第1の照明ビーム(25、30)を用いて上記物体(20)を照明することによって、物体(20)の第1の画像(73)を取得する工程と、上記ビーム(25、30)の光が実質的に物体(20)の表面によって反射されるようにスペクトル成分が物体(20)の性質に適合している第2の照明ビーム(25、30)を用いて上記物体(20)を照明することによって、物体(20)の第2の画像(74)を取得する工程と、第1の画像(73)内に見えるが第2の画像(74)内には見えない構造(71a)を識別するように、上記第1の画像および第2の画像(73、74)を比較す工程とを含むことを特徴とする、イメージング方法およびデバイスに関する。
請求項（抜粋）：
イメージングセンサ(22)と、前記イメージングセンサ(22)上で視野内の物体(20)の画像(73、74)を生成することが可能な光学イメージング手段(34)と、照明ビーム(25、30)の生成を及び反射中の前記視野の照明を行う照明手段(23、27)とを利用して、前記物体(20)例えばウェハの表面において、前記物体(20)内に封入されている構造(70a、70b、70c)例えばビアの存在を検査するためのイメージング方法であって、
第1の照明ビーム(25、30)を用いて前記物体(20)を照明することによって前記物体(20)の第1の画像(73)を取得する工程と、ここで、第1の照明ビーム(25、30)のスペクトル成分が、前記ビーム(25、30)の光が前記物体(20)内に本質的に貫入可能となるように、前記物体(20)の性質に適合しているものとし、
第2の照明ビーム(25、30)を用いて前記物体(20)を照明することによって前記物体(20)の第2の画像(74)を取得する工程と、ここで、第2の照明ビーム(25、30)のスペクトル成分が、前記ビーム(25、30)の光が前記物体(20)の表面によって本質的に反射されるように、前記物体(20)の性質に適合しているものとし、
前記第1の画像および第2の画像(73、74)を比較して、前記第1の画像(73)内に見えるが前記第2の画像(74)内には見えない構造(71a)を識別する工程と
を含むことを特徴とする、前記イメージング方法。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01B 11/06
, G01N 21/17
H01L21/66 J
, G01B11/06 G
, G01N21/17 630
, H01L21/66 P
2F065AA04
, 2F065AA53
, 2F065AA60
, 2F065CC19
, 2F065FF04
, 2F065GG15
, 2F065GG23
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL22
, 2F065QQ25
, 2G059AA05
, 2G059BB16
, 2G059EE09
, 2G059GG02
, 2G059GG03
, 2G059GG10
, 2G059HH01
, 2G059JJ02
, 2G059JJ11
, 2G059JJ17
, 2G059JJ22
, 2G059KK04
, 2G059LL01
, 4M106AA01
, 4M106BA04
, 4M106CA21
, 4M106CA38
, 4M106DB01
, 4M106DB07
, 4M106DB15
, 4M106DB21
, 4M106DJ18
, 4M106DJ20
