特許
J-GLOBAL ID：201503004968599894

動的に駆動されるステージミラー及びチャック組立体を備えるZステージ

発明者：
サラム ハルブ

サラム ハルブ について

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ケント ダグラス

ケント ダグラス について

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マレク ジウノ

マレク ジウノ について

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ジェームズ ハスリム

ジェームズ ハスリム について

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ジョン ハミルトン

ジョン ハミルトン について


出願人/特許権者：
ケーエルエー-テンカー コーポレイション

ケーエルエー-テンカー コーポレイション について


代理人 (3件)： 恩田 誠 ,  恩田 博宣 ,  本田 淳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-202934
公開番号（公開出願番号）：特開2014-007425
特許番号：特許第5755304号
出願日： 2013年09月30日
公開日（公表日）： 2014年01月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 Zステージプレートと、 ステージミラーと、 Zステージプレートとステージミラーとの間に結合されている1つ以上の荷重屈曲部と、 前記1つ以上の荷重屈曲部に含まれるとともにZステージプレートへ取り付けられている1つ以上のアクチュエータであって、1つ以上のアクチュエータは、ZステージプレートがZ方向に垂直な平面における1つ以上の方向に移動されるとき、ステージミラーをZ方向へ運動させるように構成されており、Z方向は、X方向及びY方向に垂直な方向である、前記1つ以上のアクチュエータと、 基材チャックの6つの運動自由度を拘束することによってステージミラーへ取り付けられている基材チャックと、 を備える基材支持装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ( 200 6.01) ,  H01J 37/20 ( 200 6.01)
FI (3件)：
H01L 21/68 K ,  H01L 21/68 F ,  H01J 37/20 D
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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