蒸着方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：藤井兼太郎 , 鎌田健司 , 前田浩夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-230934
公開番号（公開出願番号）：特開2014-031589
特許番号：特許第5786142号
出願日： 2013年11月07日
公開日（公表日）： 2014年02月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空槽内で基材を所定方向に移送させながら、この基材の表面に微粒子を蒸着させる蒸着方法であって、前記基材の裏面と温度制御された液体または固体の熱媒体との間で伝熱部材を介して熱を伝播させることにより熱交換して前記基材の温度を制御し、前記伝熱部材は、自重または弾性体の反力により降下移動することで前記基材の裏面に当接し、前記基材の裏面の起伏に合わせて前記基材からの力で上昇移動が可能である、ことを特徴とする蒸着方法。

IPC (2件)：