空間光変調素子の製造方法、空間光変調素子、空間光変調器および露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：龍華国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-529877
特許番号：特許第5751332号
出願日： 2012年08月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板と、下側の非導体層、導体層、および上側の非導体層を有する三層構造を有し、前記基板に対して可動する平坦部と、前記平坦部の前記上側の非導体層に貼り付けられた平板と、互いに積層され、隣接する層と屈折率が異なり、繰り返し積層された2種以上の誘電体層を含み、前記平板における貼り付け面と反対側の面に形成され、入射光を反射する誘電体膜と、を備える空間光変調素子。

IPC (4件)：

G02B 26/08 ( 200 6.01) , B81C 1/00 ( 200 6.01) , B81C 3/00 ( 200 6.01) , H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G02B 26/08 E , B81C 1/00 , B81C 3/00 , H01L 21/30 515 D

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平4-340905
特開平4-350601
特開平3-210503

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審査官引用 (5件)

特開平4-340905
特開平4-350601
特開平3-210503

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