特許
J-GLOBAL ID：201503005399954377

基板処理装置

発明者：
澤島 隼

澤島 隼 について


出願人/特許権者：
株式会社SCREENホールディングス

株式会社SCREENホールディングス について


代理人 (3件)： 松阪 正弘 ,  田中 勉 ,  井田 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-005634
公開番号（公開出願番号）：特開2015-135843
出願日： 2014年01月16日
公開日（公表日）： 2015年07月27日
要約：
【課題】薬液を効率よく回収して再利用する。【解決手段】基板処理装置は、基板に向けて処理液を吐出する上部ノズル181を有する。上部ノズルは、純水の供給ラインである純水導入ライン72、接続部71および処理液共通ライン74により純水供給部184と接続され、供給ラインには純水用バルブである純水導入バルブ722が設けられる。薬液導入ライン73により、供給ラインにおける上部ノズルと純水用バルブとの間の薬液導入位置713と薬液供給部183とが接続される。供給ラインにおける薬液導入位置と純水用バルブとの間の薬液回収位置715には、薬液回収ライン75の一端が接続される。薬液回収ラインに設けられたエジェクタ822を有する薬液回収部82が、上部ノズルからの薬液の吐出完了後、供給ラインにおいて上部ノズルと薬液回収位置との間に存在する薬液を回収する。これにより、薬液を効率よく回収して再利用することができる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板処理装置であって、 基板を保持する保持部と、 前記基板に向けて処理液を吐出するノズルと、 前記ノズルと純水供給部とを接続するとともに、純水用バルブが設けられた供給ラインと、 前記供給ラインにおける前記ノズルと前記純水用バルブとの間の薬液導入位置と、薬液供給部とを接続するとともに、薬液用バルブが設けられた薬液導入ラインと、 前記供給ラインにおける前記薬液導入位置と前記純水用バルブとの間の薬液回収位置に一端が接続された薬液回収ラインと、 前記薬液回収ラインに設けられたポンプを有し、前記供給ラインにおいて前記ノズルと前記薬液回収位置との間に存在する薬液を回収する薬液回収部と、 を備えることを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
H01L21/304 648K ,  H01L21/304 648F ,  H01L21/304 643A ,  H01L21/306 J ,  H01L21/30 572B
Fターム (15件)：
5F043EE07 ,  5F043EE33 ,  5F146MA07 ,  5F146MA10 ,  5F157AB02 ,  5F157AB33 ,  5F157AB90 ,  5F157AC24 ,  5F157BB22 ,  5F157BB66 ,  5F157BH18 ,  5F157CB01 ,  5F157CB11 ,  5F157CF34 ,  5F157DC84
引用特許：
審査官引用 (4件)
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