特許
J-GLOBAL ID:201503006281768320
マイクロフォン
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
世良 和信
, 和久田 純一
, 中村 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-052718
公開番号(公開出願番号):特開2015-177376
出願日: 2014年03月14日
公開日(公表日): 2015年10月05日
要約:
【課題】バックチャンバが広い(筐体サイズに対するバックチャンバ容積の割合が大きい)マイクロフォンを提供する。【解決手段】マイクロフォンは、枠状の支持部23と、可動電極としてのダイヤフラム21を含む、支持部23の一方の開口部を覆う薄膜部とを備えたMEMS音響トランスデューサ20と、MEMS音響トランスデューサ20の出力を増幅する集積回路25と、MEMS音響トランスデューサ20及び集積回路25を収容する筐体10であって、音孔15が形成されている壁部である有音孔壁を備えた筐体10とを含み、MEMS音響トランスデューサ20が、筐体20の有音孔壁の内面に、薄膜部側を有音孔壁の内面側に向けた姿勢で、薄膜部と有音孔壁との間に音孔15により外部と連通した閉空間が形成されるように、固定された構成を有する。【選択図】図6
請求項(抜粋):
枠状の支持部と、可動電極としてのダイヤフラムを含む、前記支持部の一方の開口部を覆う薄膜部とを備えたMEMS音響トランスデューサと、
前記MEMS音響トランスデューサの出力を増幅する集積回路と、
前記MEMS音響トランスデューサ及び前記集積回路を収容する筐体であって、音孔が形成されている壁部である有音孔壁を備えた筐体と、
を含み、
前記MEMS音響トランスデューサが、前記筐体の前記有音孔壁の内面に、前記薄膜部側を前記有音孔壁の内面側に向けた姿勢で、前記薄膜部と前記有音孔壁との間に前記音孔により外部と連通した閉空間が形成されるように、固定されている
ことを特徴とするマイクロフォン。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (6件):
5D017BC15
, 5D017BC20
, 5D017BD07
, 5D021CC15
, 5D021CC18
, 5D021CC19
引用特許:
出願人引用 (2件)
-
マイクロフォン
公報種別:公開公報
出願番号:特願2011-287614
出願人:オムロン株式会社
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半導体装置及びマイクロフォン
公報種別:公開公報
出願番号:特願2011-202981
出願人:オムロン株式会社
審査官引用 (2件)
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マイクロフォン
公報種別:公開公報
出願番号:特願2011-287614
出願人:オムロン株式会社
-
半導体装置及びマイクロフォン
公報種別:公開公報
出願番号:特願2011-202981
出願人:オムロン株式会社
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