特許
J-GLOBAL ID：201503007409946019

気相成長装置

発明者：
児玉 義文

児玉 義文 について


出願人/特許権者：
日本パイオニクス株式会社

日本パイオニクス株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-124472
公開番号（公開出願番号）：特開2015-002190
出願日： 2013年06月13日
公開日（公表日）： 2015年01月05日
要約：
【課題】 外周に歯車を有する基板ホルダー、外周に歯車を有するサセプタ、及び外周に歯車を有し外部からの回転駆動力を基板ホルダーまたはサセプタに伝達するための回転板が備えられた気相成長装置であって、容易に歯車の磨耗量を検知できる気相成長装置を提供する。【解決手段】 前述のような気相成長装置において、基板ホルダー、サセプタ、及び回転板から選ばれる少なくとも1個の回転物の歯車の先端部に、磨耗量を視覚的に検知するためのマークが設けられてなる気相成長装置とする。また、好ましくはこれらの回転物に設けられたマークを、外部から視認できるビューポートが備えられてなる気相成長装置とする。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
外周に歯車を有する基板ホルダー、外周に歯車を有するサセプタ、及び外周に歯車を有し外部からの回転駆動力を基板ホルダーまたはサセプタに伝達するための回転板が備えられた気相成長装置であって、該基板ホルダー、該サセプタ、及び該回転板から選ばれる少なくとも1個の回転物の歯車の先端部に、磨耗量を視覚的に検知するためのマークが設けられてなることを特徴とする気相成長装置。
IPC (2件)：
H01L 21/205 ,  C23C 16/44
FI (2件)：
H01L21/205 ,  C23C16/44 G
Fターム (22件)：
4K030AA11 ,  4K030AA13 ,  4K030BA38 ,  4K030CA12 ,  4K030FA10 ,  4K030GA09 ,  4K030KA37 ,  4K030KA39 ,  4K030KA46 ,  4K030KA47 ,  4K030LA14 ,  5F045AA04 ,  5F045AB14 ,  5F045AC08 ,  5F045AC12 ,  5F045DP15 ,  5F045DP28 ,  5F045EB03 ,  5F045EB05 ,  5F045EC01 ,  5F045EM09 ,  5F045EM10
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 気相成長装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-269966   出願人：日立電線株式会社
  • 特許第4537566号公報
  • III族窒化物半導体の気相成長装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-091388   出願人：日本パイオニクス株式会社

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