特許

J-GLOBAL ID：201503007455246324

管状ターゲット

発明者： ムチュレヒナー、ヴァルター ,  ドロンホーファー、アンドレ ,  リンケ、クリスティアン
出願人/特許権者： プランゼー エスエー
代理人 (2件)： 山口 巖 ,  山本 浩
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-531400
公開番号（公開出願番号）：特表2015-533940
出願日： 2013年09月13日
公開日（公表日）： 2015年11月26日
要約：

本発明は、原子化材料で作製された管状ターゲット体(4a)と、前記ターゲット体(4a)に結合可能であって、陰極原子化システムに前記ターゲット体(4a)を結合するための2つの結合片(10a)-ここで、第1の結合片は、前記ターゲット体(4a)第1端に結合可能であり、第2の結合片は、前記ターゲット体(4a)の第2端に結合可能である-とを、有する陰極原子化システムのためのターゲット(2a、2b)であって、各結合片(10a)をターゲット体(4a)に、回転しないように、結合するために、少なくとも1つのロック手段(12a-d)が各結合片(10a)上に形成されているターゲットに関する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

原子化材料で作製された管状ターゲット体(4a、4b)と、前記ターゲット体(4a、4b)に結合可能であって陰極原子化システムに前記ターゲット体(4a、4b)を結合するための2つの結合片(10a、10b)-ここで、第1の結合片は、前記ターゲット体(4a、4b)第1端に結合可能であり、第2の結合片は、前記ターゲット体(4a、4b)の第2端に結合可能である-とを、有する陰極原子化システムのためのターゲット(2a、2b)であって、 各結合片(10a、10b)を、回転しないように、ターゲット体(4a、4b)に結合するために、少なくとも1つのロック手段(12a-h)が各結合片(10a、10b)上に形成されていることを特徴とするターゲット。

IPC (2件)：

C23C 14/34 ,  H01L 21/203

FI (3件)：

C23C14/34 B ,  C23C14/34 C ,  H01L21/203

Fターム (5件)：

4K029CA05 ,  4K029DC13 ,  4K029DC23 ,  4K029DC24 ,  5F103BB22

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 多重溝付き真空連結具
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2010-546282   出願人：ベーカート・アドヴァンスト・コーティングス・ナムローゼ・フェンノートシャップ
• 回転式円筒状マグネトロンターゲットをスピンドルに取り付ける装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平9-516872   出願人：バンデルストラーテンエー.ベーファウベーアー, モーガン,スティーブン, バンデルストラーテン,ヨハン, バンデルストラーテン,エルビーン, ゴビン,ガイ
• 回転可能なターゲット管をスパッタするための陰極装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-164772   出願人：アプライドフィルムスゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツングウントコンパニーコマンディートゲゼルシャフト, アプライドフィルムスコーポレイション