特許
J-GLOBAL ID：201503007593432929
レーザ源からの主パルス及びプレパルスビームを分離するためのシステム及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (8件)：
辻居 幸一
, 熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 西島 孝喜
, 須田 洋之
, 上杉 浩
, 近藤 直樹
, 大浦 博司
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-515011
公開番号（公開出願番号）：特表2015-525475
出願日： 2013年05月01日
公開日（公表日）： 2015年09月03日
要約：
各々が共通ビーム経路を進行する主パルスレーザビームをプレパルスレーザビームから分離するための二色性ビームスプリッタモジュールを開示する。一実施形態において、2つの二色性要素は、ビーム経路に沿って物理的に位置合せされ、かつプレパルス、すなわち、第1の波長を有するレーザ光を照射部位の近くに位置するターゲット材料まで通すが、主パルス、すなわち、第2の波長を有するレーザ光を反射するように構成される。反射された主パルスは、次に、第1の二色性要素から第2の二色性要素に及び次に照射部位上に2つの反射要素又はミラーによって更に反射される。代替実施形態において、第1のミラーは、反射された主パルスビームのビーム特性を変更するように変形可能であり、第2のミラーは、主パルスビームを照射部位に位置合せするように調節可能である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ビーム経路に沿って第1の波長を有する第1のレーザ光を生成するように構成され、かつ該ビーム経路に沿って第2の波長を有する第2のレーザ光を生成するように構成されたレーザ源と
前記ビーム経路に沿った前記第1のレーザ光を受け入れ、かつ前記第1の波長を有する該第1のレーザ光を通過させるように構成され、該ビーム経路に沿った前記第2のレーザ光を受け入れ、かつ前記第2の波長を有する該第2のレーザ光を反射するように更に構成された第1の二色性要素、
前記第1の二色性要素から反射された前記第2のレーザ光を受け入れ、かつ該受け入れた第2のレーザ光を反射するように構成された第1のミラー、
前記第1のミラーから反射された前記第2のレーザ光を受け入れ、かつ該受け入れた第2のレーザ光を反射するように構成された第2のミラー、及び
前記第1のレーザ光を前記第1の二色性要素から受け入れ、かつ前記第1の波長を有する該第1のレーザ光を通過させるように構成され、かつ前記第2のミラーから反射された前記第2のレーザ光を受け入れ、かつ前記第2の波長を有する該第2のレーザ光を反射するように構成された第2の二色性要素、
を含むビームスプリッタモジュールと、
を含むことを特徴とするシステム。
IPC (3件)：
H01S 3/10
, H01L 21/027
, H01S 3/00
H01S3/10 Z
, H01L21/30 531S
, H01S3/00 A
5F146GC12
, 5F172AD05
, 5F172DD03
, 5F172DD06
, 5F172EE22
, 5F172NN05
, 5F172NR03
, 5F172NR04
, 5F172NR06
, 5F172NR13
, 5F172ZA02
, 5F172ZZ14
