特許
J-GLOBAL ID：201503008659548407

窒化アルミニウム接合体およびその製造方法

発明者：
石田 弘徳

石田 弘徳 について

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川口 晋之介

川口 晋之介 について

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深澤 健一

深澤 健一 について


出願人/特許権者：
株式会社日本セラテック

株式会社日本セラテック について


代理人 (1件)： 特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-039970
公開番号（公開出願番号）：特開2015-164882
出願日： 2014年02月28日
公開日（公表日）： 2015年09月17日
要約：
【課題】温度勾配などの熱的な原因による割れが発生した際にチャンバ等を含む装置の損傷軽減を図りうる窒化アルミニウム焼結体の接合体およびその製造方法を提供する。【解決手段】接合体1は、窒化アルミニウム焼結体からなる複数の母材11、12同士が接合されることにより構成されている。複数の母材11、12の強度に対する母材11、12同士の接合強度の比率が0.50〜0.90の範囲に含まれている。母材11、12同士の接合箇所のHeリーク量が1.0×10-9[Pa・m3/s]以下である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
窒化アルミニウム焼結体からなる複数の母材同士が接合されることにより構成されている接合体であって、 前記母材の強度に対する前記複数の母材同士の接合強度の比率0.50〜0.90の範囲に含まれ、前記母材同士の接合箇所のHeリーク量が1.0×10-9[Pa・m3/s]以下であることを特徴とする窒化アルミニウム接合体。
IPC (2件)：
C04B 37/00 ,  C04B 35/581
FI (2件)：
C04B37/00 C ,  C04B35/58 104Q
Fターム (24件)：
4G001BA36 ,  4G001BB36 ,  4G001BC71 ,  4G001BD13 ,  4G026BA16 ,  4G026BB16 ,  4G026BC01 ,  4G026BD12 ,  4G026BE03 ,  4G026BF57 ,  4G026BG03 ,  4G026BH11 ,  5F131AA02 ,  5F131CA02 ,  5F131CA09 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131EA04 ,  5F131EA13 ,  5F131EA18 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79 ,  5F131EB81 ,  5F131EB82
引用特許：
審査官引用 (7件)
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