特許
J-GLOBAL ID：201503009541415190
成膜マスクの製造方法及び成膜マスク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小川 護晃
, 西山 春之
, 奥山 尚一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-264326
公開番号（公開出願番号）：特開2015-120947
出願日： 2013年12月20日
公開日（公表日）： 2015年07月02日
要約：
【課題】開口パターンの側壁の傾き角度の制御を容易にする。【解決手段】樹脂製のフィルム20にレーザ光Lを照射して平面視多角形の開口パターン4を形成する成膜マスクの製造方法であって、前記レーザ光が透過する透光窓18を有し、該透光窓18の外側の、少なくとも一対辺の側方領域における光透過率を、前記透光窓の縁部から側方に向かって漸減させたビーム整形用マスク10を使用して整形されたレーザ光Lを前記フィルム20に照射することにより、開口が前記レーザ光Lの照射面側に向かって広がるように傾斜した少なくとも1対の対向側壁4aを有する開口パターン4を形成するものである。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
樹脂製のフィルムにレーザ光を照射して平面視多角形の開口パターンを形成する成膜マスクの製造方法であって、
前記レーザ光が透過する透光窓を有し、該透光窓の外側の、少なくとも一対辺の側方領域における光透過率を、前記透光窓の縁部から側方に向かって漸減させたビーム整形用マスクを使用して整形されたレーザ光を前記フィルムに照射することにより、開口が前記レーザ光の照射面側に向かって広がるように傾斜した少なくとも1対の対向側壁を有する開口パターンを形成することを特徴とする成膜マスクの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
4K029CA01
, 4K029CA05
, 4K029DB14
, 4K029HA02
, 4K029HA03
, 4K029KA01
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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