特許
J-GLOBAL ID：201503011041455743

レーザ装置

発明者：
徳久 章

徳久 章 について

, 
稲葉 直人

稲葉 直人 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 永井 冬紀 ,  渡辺 隆男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-553752
特許番号：特許第5794237号
出願日： 2012年01月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 信号光を含む波長帯域で利得を有し、入射した信号光を増幅して出射すると共に、自然放出光を発生するファイバ光増幅器と、 前記信号光を前記ファイバ光増幅器に導く入力光路と、 前記ファイバ光増幅器に導入される励起光を発生する励起光源と、 前記励起光源に供給される励起電力を制御する制御部と、 前記入力光路中に配置され、前記ファイバ光増幅器で発生され前記入力光路中を前記信号光とは反対方向に進む前記自然放出光を前記入力光路から分岐する分岐部と、 前記分岐部によって分岐された前記自然放出光のうち、前記ファイバ光増幅器の利得分布における前記信号光よりも利得が高い波長の光を検出する自然放出光検出器と、を備え、 前記制御部は、前記自然放出光検出器により検出された自然放出光の強度が所定の自然放出光基準値以上となったときに、前記励起電力を抑制し、 前記自然放出光検出器により検出された自然放出光の強度が前記所定の自然放出光基準値以上となったのち前記励起電力が抑制されるまでの時間は、前記ファイバ光増幅器における前記信号光よりも利得が高い波長の光の利得が、発振閾値と等しくなるまでの時間に基づいて設定されることを特徴とするレーザ装置。
IPC (2件)：
H01S 3/10 ( 200 6.01) ,  H01S 3/067 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H01S 3/10 D ,  H01S 3/067
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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