特許
J-GLOBAL ID：201503011874530846
基板搬送ロボットおよび基板搬送装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
リングループ特許業務法人
, 名塚 聡
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-143470
公開番号（公開出願番号）：特開2013-198981
特許番号：特許第5819356号
出願日： 2013年07月09日
公開日（公表日）： 2013年10月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 正面壁と背面壁が間隔をあけて互いの延在方向が平行になるように配置され、前記正面壁には、その延在方向に沿って一列に並んだ4つの基板収容容器に通じる正面壁開口が設けられ、前記背面壁には背面壁開口が設けられ、前記正面壁開口および前記背面壁開口を通して基板の搬送を行う基板搬送装置に搭載され、
第1旋回軸線が設定される基台と、
前記基台に連結され、前記第1旋回軸線まわりに旋回でき、前記第1旋回軸線に平行な第2旋回軸線が設定される第1アーム部と、
前記第1アーム部に連結され、前記第2旋回軸線まわりに旋回でき、前記第2旋回軸線に平行な第3旋回軸線が設定される第2アーム部と、
前記第2アーム部に連結され、前記第3旋回軸線まわりに旋回でき、基板を把持するロボットハンドと、
前記第1アーム部、前記第2アーム部および前記ロボットハンドを駆動する駆動手段とを有する基板搬送ロボットであって、
前記基板搬送ロボットが、前記正面壁と前記背面壁の間であって、かつ前記第1アーム部を前記第1旋回軸線まわりに一周旋回させようとすると、前記第1アーム部が前記背面壁と干渉する程度に前記背面壁寄りに配置された前記基板搬送装置への配置状態において、前記正面壁開口および前記背面壁開口を通してロボットハンドが基板に届く程度に以下の条件、すなわち、
前記第1旋回軸線から前記第2旋回軸線に向かう方向を前記背面壁から前記正面壁に向かう方向とし、かつ前記第1旋回軸線から前記第2旋回軸線に向かう方向と前記第2旋回軸線から前記第3旋回軸線に向かう方向をそれぞれ前記正面壁または前記背面壁の延在方向と垂直な方向かつ互いに逆方向とした場合に、前記第2旋回軸線が前記正面壁の近傍に位置し、かつ前記第3旋回軸線が前記背面壁の近傍に位置するように構成されていること、
を満たすことを特徴とする基板搬送ロボット。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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