特許

J-GLOBAL ID：201503012363991328

非蒸発型ゲッタ材、非蒸発型ゲッタモジュール、及び非蒸発型ゲッタポンプ

発明者： 間瀬 一彦 ,  菊地 貴司
出願人/特許権者： 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構
代理人 (1件)： 杉村 憲司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-210649
公開番号（公開出願番号）：特開2015-110214
出願日： 2014年10月15日
公開日（公表日）： 2015年06月18日
要約：

【課題】本発明は、非蒸発型ゲッタ材の気体の吸着速度を高めること、非蒸発型ゲッタポンプの製造コスト及び修理コストを低減すること、並びに非蒸発型ゲッタポンプの排気速度を高めることを目的とする。【解決手段】網目状構造を有することを特徴とする非蒸発型ゲッタ材、該非蒸発型ゲッタ材を含むことを特徴とする非蒸発型ゲッタモジュール、該非蒸発型ゲッタ材又は該非蒸発型ゲッタモジュールを含むことを特徴とする非蒸発型ゲッタポンプ。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

網目状構造を有することを特徴とする、非蒸発型ゲッタ材。

IPC (3件)：

B01J 20/28 ,  F04B 37/04 ,  F04B 37/02

FI (3件)：

B01J20/28 A ,  F04B37/04 ,  F04B37/02 A

Fターム (19件)：

3H076AA24 ,  3H076BB21 ,  3H076BB40 ,  3H076BB45 ,  3H076CC52 ,  3H076CC55 ,  4G066AA02B ,  4G066BA01 ,  4G066BA05 ,  4G066BA22 ,  4G066BA26 ,  4G066BA38 ,  4G066CA01 ,  4G066DA01 ,  4K018AA06 ,  4K018AA07 ,  4K018CA33 ,  4K018DA12 ,  4K018KA22

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 高多孔質非蒸発性ゲッター材料とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-337693   出願人：サエス・ゲテルス・ソチエタ・ペル・アチオニ