特許
J-GLOBAL ID：201503012986794516
ガスセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
吉田 正義
, 今枝 弘充
, 梅村 裕明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-553247
特許番号：特許第5822282号
出願日： 2012年12月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 検出対象となるガスを検出するガスセンサであって、
基板上のソース電極及びドレイン電極間に設けられ、ソースドレイン電流が流れるカーボンナノチューブと、
前記カーボンナノチューブを覆うように配置されたガス吸収液体とを備え、
前記ガス吸収液体は、前記カーボンナノチューブと前記基板上のゲート電極とに接してゲート絶縁層になり、前記ガスを吸収することにより前記ゲート絶縁層の状態が変化し、該ゲート絶縁層の状態に応じて生じる前記ソースドレイン電流の変化に基づいて前記ガスを検出する
ことを特徴とするガスセンサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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引用文献：
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