積層体およびその応用

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-180042
公開番号（公開出願番号）：特開2015-050269
出願日： 2013年08月30日
公開日（公表日）： 2015年03月16日
要約：

【課題】被処理部材に機械的または化学的な処理を施す際に、高い接着力により被処理部材を仮支持できるとともに、処理済部材に損傷を与えることなく、処理済部材に対する仮支持を容易に解除できる積層体、保護層形成用組成物、接着剤層前駆体または接着剤層形成用組成物、およびそのキットの提供。【解決手段】 (A)支持体上に、(B)接着剤層前駆体、(C)保護層、(D)デバイスウエハをこの順に有し、前記(B)接着剤層前駆体が、(b-1)重合性モノマーおよび/または重合性オリゴマーを含み、かつ、重合性モノマーおよび/または重合性オリゴマーの重合率が10〜70%である、積層体。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

(A)支持体上に、(B)接着剤層前駆体、(C)保護層、(D)デバイスウエハをこの順に有し、前記(B)接着剤層前駆体が、(b-1)重合性モノマーおよび/または重合性オリゴマーを含み、かつ、重合性モノマーおよび/または重合性オリゴマーの重合率が10〜70%である、積層体。

IPC (5件)：

H01L 21/304 , C09J 4/00 , C09J 11/06 , C09J 11/08 , B32B 27/28

FI (5件)：

H01L21/304 622J , C09J4/00 , C09J11/06 , C09J11/08 , B32B27/28

Fターム (40件)：

4F100AK01C , 4F100AK12C , 4F100AK17B , 4F100AK41C , 4F100AK45C , 4F100AK46C , 4F100AK49C , 4F100AK55C , 4F100AS00D , 4F100AT00A , 4F100BA04 , 4F100CB00B , 4F100CB02B , 4F100GB41 , 4F100JA04C , 4F100JB16C , 4F100JG00D , 4J040FA011 , 4J040FA221 , 4J040GA03 , 4J040JB02 , 4J040JB08 , 4J040JB09 , 4J040KA12 , 4J040KA13 , 4J040LA06 , 4J040LA08 , 4J040MA02 , 4J040NA20 , 4J040PA42 , 5F057AA05 , 5F057AA21 , 5F057BA21 , 5F057CA14 , 5F057DA03 , 5F057DA11 , 5F057EC03 , 5F057EC04 , 5F057FA15 , 5F057FA22

引用特許：

審査官引用 (6件)

一時的なウェハーボンディング及びデボンディングのための改善された装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2012-505938 出願人：ススマイクロテクリソグラフィー,ゲーエムベーハー
半導体ウエハの裏面研削用粘着フィルム及びそれを用いる半導体ウエハの裏面研削方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-169384 出願人：三井化学株式会社
粘着シート及びそれを用いた被着体の加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-113908 出願人：日東電工株式会社

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