特許

J-GLOBAL ID：201503014855118096

チャックテーブルの成形方法

発明者： 禹 俊洙
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (5件)： 青木 宏義 ,  天田 昌行 ,  岡田 喜雅 ,  菅野 亨 ,  溝口 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-258090
公開番号（公開出願番号）：特開2015-115526
出願日： 2013年12月13日
公開日（公表日）： 2015年06月22日
要約：

【課題】保持面と異なる形状の板状ワークを容易に吸引保持可能なチャックテーブルを成形すること。【解決手段】保持面(12)が円板状の多孔質部材(11)によって形成されるチャックテーブル(1)の成形方法であって、板状ワーク(W2)の形状に合わせて保持面にマスク部材(5)を載置することにより保持面上にマスク領域及び非マスク領域を形成するマスク工程と、非マスク領域に樹脂(6)を供給する樹脂供給工程と、非マスク領域に供給された樹脂を保持面から多孔質部材の内部に吸引する吸引工程と、多孔質部材の内部で樹脂を硬化する硬化工程と、保持面のマスク領域からマスク部材を剥離する剥離工程と、を備える構成とした。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

板状ワークを吸引保持する保持面を有する円板状の多孔質部材と、該多孔質部材を囲繞し該保持面を吸引源に連通する連通孔を備える枠体とから少なくとも構成されるチャックテーブルの、該保持面に該保持面より小さい面積の板状ワークを吸引保持させるため該保持面を該板状ワークの面積に適した面積だけ吸引可能にするチャックテーブルの成形方法であって、 該保持面で保持する該板状ワークの面積に適した面積で該保持面をマスクするマスク工程と、 該マスク工程でマスクされた該保持面に樹脂を供給する樹脂供給工程と、 該樹脂供給工程で供給された該樹脂を該保持面で吸引する吸引工程と、 該吸引工程で該保持面より該多孔質部材の内部に吸引され侵入した該樹脂を硬化させる硬化工程と、 該硬化工程の後、該保持面をマスクしたマスク部材を該保持面から剥離させる剥離工程と、によるチャックテーブルの成形方法。

IPC (5件)：

H01L 21/683 ,  B24B 41/06 ,  H01L 21/301 ,  B24B 27/06 ,  B24B 7/00

FI (5件)：

H01L21/68 P ,  B24B41/06 L ,  H01L21/78 F ,  B24B27/06 M ,  B24B7/00 Z

Fターム (27件)：

3C034AA08 ,  3C034AA19 ,  3C034BB73 ,  3C034DD09 ,  3C034DD10 ,  3C043BA08 ,  3C043BA09 ,  3C043BB05 ,  3C043CC04 ,  3C043DD05 ,  3C158AA03 ,  3C158AB04 ,  3C158CA05 ,  3C158CB04 ,  3C158DA17 ,  5F063AA29 ,  5F063CA04 ,  5F063FF04 ,  5F063FF09 ,  5F063FF11 ,  5F131AA02 ,  5F131BA32 ,  5F131CA24 ,  5F131EA05 ,  5F131EB03 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ユニバーサルチャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-039335   出願人：東芝セラミックス株式会社
• 基板ホルダーおよびそれを備える基板加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-253556   出願人：キヤノン株式会社