エッジ搬送機能を有する基板処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上元廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-174865
公開番号（公開出願番号）：特開2015-043385
出願日： 2013年08月26日
公開日（公表日）： 2015年03月05日
要約：

【課題】液晶等の基板を、高速かつ安定的に、かつ、基板の上下面に非接触で搬送し、基板の上下面にローラー痕などによる汚染を生成せずに、基板の上面と下面の両方又は上面のみに処理を行う、エッジ搬送機能を有する基板処理装置を提供する。【解決手段】基板11の上面と下面の両方又は上面のみに、少なくとも薬液による化学的処理、水によるリンス処理、基板上下より空気又は窒素ガスといった気体による乾燥処理を行う複数の処理部を備えるとともに、これら複数の処理部の前後に、ローダー部2及びアンローダー部9をそれぞれ備えてなるエッジ搬送機能を有する基板処理装置1の、前記複数の処理部において、基板11の左右両側のエッジ部に水平方向から接触して基板11を移動させる、ローラー表面円周にV字形の切れ込みが入れられた、基板11の上面と下面に接触しない搬送ローラー13が、複数配置されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

液晶等の基板を移動させながら、前記基板の上面と下面の両方又は上面のみに、少なくとも薬液による化学的処理、水によるリンス処理、基板上下より吹き付けられる空気又は窒素ガスといった気体による乾燥処理を行う、薬液処理部、リンス処理部、乾燥処理部からなる複数の処理部を備えるとともに、これら複数の処理部の前後に、ローダー部及びアンローダー部をそれぞれ備えてなる基板処理装置において、前記複数の処理部には、前記基板の搬送方向から見て、前記基板の左右両側のエッジ部に水平方向から接触して前記基板を移動させる、ローラー表面円周にV字形の切れ込みが入れられた、前記基板の上面と下面に接触しない搬送ローラーが、複数配置されている、ことを特徴とするエッジ搬送機能を有する基板処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/304 , B08B 3/02 , B08B 3/12 , H01L 21/677 , G02F 1/13

FI (8件)：

H01L21/304 648A , H01L21/304 643B , H01L21/304 643D , H01L21/304 644E , B08B3/02 C , B08B3/12 D , H01L21/68 A , G02F1/13 101

Fターム (58件)：

2H088FA17 , 2H088FA21 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088MA20 , 3B201AA02 , 3B201AB13 , 3B201BA08 , 3B201BA15 , 3B201BB24 , 3B201BB83 , 3B201CC01 , 3B201CC12 , 3B201CD43 , 5F131AA02 , 5F131AA03 , 5F131AA32 , 5F131BA37 , 5F131CA12 , 5F131CA15 , 5F131DA02 , 5F131DA33 , 5F131DA42 , 5F131DC21 , 5F131DC22 , 5F131DD43 , 5F131DD82 , 5F131FA15 , 5F131FA33 , 5F131FA39 , 5F131JA06 , 5F131JA16 , 5F131JA24 , 5F131JA36 , 5F131KA11 , 5F131KA44 , 5F131KB32 , 5F131KB58 , 5F157AA02 , 5F157AA16 , 5F157AA73 , 5F157AB02 , 5F157AB33 , 5F157AB46 , 5F157AB82 , 5F157AB94 , 5F157AC04 , 5F157AC56 , 5F157BA07 , 5F157BA14 , 5F157BA31 , 5F157BB22 , 5F157BB73 , 5F157CB01 , 5F157CB16 , 5F157CE09 , 5F157CF10 , 5F157DB11

引用特許：

審査官引用 (5件)

非接触浮上搬送機能を有する基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-048647 出願人：株式会社ゼビオス, 株式会社ダン科学, 株式会社三明
板ガラスの洗滌乾燥機に於ける板ガラス搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-218062 出願人：株式会社白井鉄工所
洗浄処理方法及び洗浄処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-118210 出願人：株式会社カイジョー

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