MEMSセンサ

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：杉村憲司 , 齋藤恭一 , 岡野大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-223626
公開番号（公開出願番号）：特開2015-087129
出願日： 2013年10月28日
公開日（公表日）： 2015年05月07日
要約：

【課題】近接覚計測及び触覚計測を単一のMEMSセンサで検出する技術を提供する。【解決手段】近接覚計測及び触覚計測用のMEMSセンサ(1)であって、透光性弾性部材(4)と、透光性弾性部材(4)に埋め込まれた少なくとも1つの検知素子(5)と、を有し、検知素子(5)は、半導体層(52)上に絶縁層(53)を介して設けられた2つの端子(54A、54B)と、半導体層(52)に端部が接続され、透光性弾性部材(4)に対する物体の接触に応じて変形するカンチレバー(55)と、カンチレバー(55)上に設けられ、2つの端子(54A、54B)に各端部が接続されたひずみゲージ(56)と、を備え、2つの端子(54A、54B)間の直流抵抗の変化に基づき接触力を検知し、2つの端子(54A、54B)間の交流インピーダンスの変化に基づき近接を検知することを特徴とする。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

近接覚計測及び触覚計測用のMEMSセンサであって、透光性弾性部材と、前記透光性弾性部材に埋め込まれた少なくとも1つの検知素子と、を有し、前記検知素子は、半導体層上に絶縁層を介して設けられた2つの端子と、前記半導体層に端部が接続され、前記透光性弾性部材に対する物体の接触に応じて変形するカンチレバーと、前記カンチレバー上に設けられ、前記2つの端子に各端部が接続されたひずみゲージと、を備え、前記2つの端子間の直流抵抗の変化に基づき接触力を検知し、前記2つの端子間の交流インピーダンスの変化に基づき近接を検知することを特徴とするMEMSセンサ。

IPC (4件)：

G01D 21/02 , B81B 3/00 , G01L 1/18 , G01B 7/14

FI (4件)：

G01D21/02 , B81B3/00 , G01L1/18 A , G01B7/14

Fターム (20件)：

2F063AA22 , 2F063BA22 , 2F063CA34 , 2F063GA03 , 2F076BA01 , 2F076BD01 , 2F076BD17 , 2F076BE01 , 2F076BE02 , 3C081AA11 , 3C081BA22 , 3C081BA43 , 3C081BA48 , 3C081BA77 , 3C081CA02 , 3C081CA13 , 3C081CA26 , 3C081DA02 , 3C081DA10 , 3C081EA03

引用特許：

出願人引用 (4件)

センサ装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-053110 出願人：株式会社国際電気通信基礎技術研究所, 国立大学法人大阪大学
触覚センサアレイ
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-149523 出願人：株式会社国際電気通信基礎技術研究所, ニッタ株式会社
対象物検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-163393 出願人：国立大学法人佐賀大学

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