特許

J-GLOBAL ID：201503017060709290

トランジスタおよび半導体装置

発明者： 山崎 舜平 ,  坂倉 真之
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-067224
公開番号（公開出願番号）：特開2015-195380
出願日： 2015年03月27日
公開日（公表日）： 2015年11月05日
要約：

【課題】寄生容量の小さいトランジスタを提供する。または、周波数特性の高いトランジスタを提供する。または、該トランジスタを有する半導体装置を提供する。【解決手段】酸化物半導体と、第1の導電体と、第2の導電体と、第3の導電体と、第1の絶縁体と、第2の絶縁体と、を有し、第1の導電体は、第1の絶縁体を介して、第1の導電体と酸化物半導体とが互いに重なる第1の領域と、第1の絶縁体および第2の絶縁体を介して、第1の導電体と第2の導電体とが互いに重なる第2の領域と、第1の絶縁体および第2の絶縁体を介して、第1の導電体と第3の導電体とが互いに重なる第3の領域と、を有し、酸化物半導体は、酸化物半導体と第2の導電体とが接する第4の領域と、酸化物半導体と第3の導電体とが接する第5の領域と、を有するトランジスタである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

酸化物半導体と、第1の導電体と、第2の導電体と、第3の導電体と、第1の絶縁体と、第2の絶縁体と、を有し、 前記第1の導電体は、第1の領域と、第2の領域と、第3の領域と、を有し、 前記第1の領域は、前記第1の絶縁体を介して、前記第1の導電体と前記酸化物半導体とが互いに重なる領域を有し、 前記第2の領域は、前記第1の絶縁体および前記第2の絶縁体を介して、前記第1の導電体と前記第2の導電体とが互いに重なる領域を有し、 前記第3の領域は、前記第1の絶縁体および前記第2の絶縁体を介して、前記第1の導電体と前記第3の導電体とが互いに重なる領域を有し、 前記酸化物半導体は、第4の領域と、第5の領域と、を有し、 前記第4の領域は、前記酸化物半導体と前記第2の導電体とが互いに接する領域を有し、 前記第5の領域は、前記酸化物半導体と前記第3の導電体とが互いに接する領域を有することを特徴とするトランジスタ。

IPC (16件)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/78 ,  H01L 21/823 ,  H01L 27/092 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/115 ,  H01L 21/28 ,  H01L 29/417 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49 ,  H01L 27/108 ,  H01L 27/105 ,  H01L 51/50

FI (18件)：

H01L29/78 617K ,  H01L29/78 301G ,  H01L29/78 301H ,  H01L29/78 301Q ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 613A ,  H01L29/78 618E ,  H01L27/08 321G ,  H01L29/78 371 ,  H01L27/10 434 ,  H01L21/28 301B ,  H01L29/50 M ,  H01L29/58 G ,  H01L27/10 321 ,  H01L27/10 671C ,  H01L27/10 671Z ,  H01L27/10 441 ,  H05B33/14 A

Fターム (268件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107BB08 ,  3K107CC11 ,  3K107CC45 ,  3K107EE04 ,  4M104AA01 ,  4M104AA02 ,  4M104AA03 ,  4M104AA04 ,  4M104AA05 ,  4M104AA08 ,  4M104AA09 ,  4M104AA10 ,  4M104BB01 ,  4M104BB03 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB08 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB30 ,  4M104BB36 ,  4M104BB40 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD15 ,  4M104DD16 ,  4M104DD17 ,  4M104DD18 ,  4M104DD20 ,  4M104DD35 ,  4M104DD37 ,  4M104DD43 ,  4M104DD62 ,  4M104DD63 ,  4M104DD71 ,  4M104FF01 ,  4M104FF02 ,  4M104FF03 ,  4M104FF04 ,  4M104FF06 ,  4M104FF08 ,  4M104FF09 ,  4M104FF17 ,  4M104FF18 ,  4M104FF22 ,  4M104FF26 ,  4M104FF31 ,  4M104GG04 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104GG16 ,  4M104HH04 ,  4M104HH10 ,  4M104HH12 ,  4M104HH14 ,  5F048AA01 ,  5F048AA09 ,  5F048AB01 ,  5F048AB04 ,  5F048AC03 ,  5F048AC04 ,  5F048BA01 ,  5F048BA10 ,  5F048BA14 ,  5F048BA15 ,  5F048BA16 ,  5F048BB02 ,  5F048BB03 ,  5F048BB11 ,  5F048BB12 ,  5F048BB14 ,  5F048BC18 ,  5F048BD06 ,  5F048BD10 ,  5F048BF02 ,  5F048BF07 ,  5F048BF16 ,  5F048BG13 ,  5F048CB01 ,  5F048CB03 ,  5F048CB04 ,  5F083AD02 ,  5F083AD03 ,  5F083AD69 ,  5F083EP22 ,  5F083EP75 ,  5F083GA01 ,  5F083GA03 ,  5F083GA05 ,  5F083GA06 ,  5F083GA09 ,  5F083GA10 ,  5F083GA19 ,  5F083GA21 ,  5F083GA25 ,  5F083GA27 ,  5F083GA28 ,  5F083HA02 ,  5F083HA06 ,  5F083HA08 ,  5F083JA02 ,  5F083JA05 ,  5F083JA06 ,  5F083JA12 ,  5F083JA19 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA44 ,  5F083MA06 ,  5F083MA19 ,  5F083NA01 ,  5F083PR01 ,  5F083PR21 ,  5F083PR33 ,  5F083PR36 ,  5F083PR39 ,  5F083PR40 ,  5F083ZA13 ,  5F083ZA14 ,  5F083ZA20 ,  5F101BA17 ,  5F101BB17 ,  5F101BD13 ,  5F101BD14 ,  5F101BD30 ,  5F101BD33 ,  5F101BD35 ,  5F101BD39 ,  5F101BD40 ,  5F101BE02 ,  5F101BE05 ,  5F101BF01 ,  5F101BF02 ,  5F101BF03 ,  5F101BF08 ,  5F101BF09 ,  5F101BG09 ,  5F101BH02 ,  5F101BH09 ,  5F101BH16 ,  5F101BH26 ,  5F110AA01 ,  5F110AA02 ,  5F110AA06 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110BB05 ,  5F110BB11 ,  5F110CC02 ,  5F110CC10 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD04 ,  5F110DD05 ,  5F110DD06 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE07 ,  5F110EE11 ,  5F110EE14 ,  5F110EE22 ,  5F110EE30 ,  5F110EE36 ,  5F110EE42 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF05 ,  5F110FF09 ,  5F110FF12 ,  5F110FF27 ,  5F110FF28 ,  5F110FF29 ,  5F110FF36 ,  5F110GG01 ,  5F110GG06 ,  5F110GG12 ,  5F110GG13 ,  5F110GG14 ,  5F110GG15 ,  5F110GG16 ,  5F110GG17 ,  5F110GG19 ,  5F110GG22 ,  5F110GG25 ,  5F110GG42 ,  5F110GG43 ,  5F110GG44 ,  5F110GG58 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK07 ,  5F110HK21 ,  5F110HK32 ,  5F110HK33 ,  5F110HK34 ,  5F110HL01 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL07 ,  5F110HL11 ,  5F110HL22 ,  5F110HL23 ,  5F110HL24 ,  5F110HM02 ,  5F110HM03 ,  5F110HM13 ,  5F110HM14 ,  5F110NN03 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN28 ,  5F110NN33 ,  5F110NN34 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN62 ,  5F110NN72 ,  5F110NN78 ,  5F110QQ06 ,  5F110QQ08 ,  5F110QQ16 ,  5F110QQ19 ,  5F140AB03 ,  5F140AB05 ,  5F140AC01 ,  5F140AC36 ,  5F140BA00 ,  5F140BA01 ,  5F140BA02 ,  5F140BA03 ,  5F140BA05 ,  5F140BA07 ,  5F140BA08 ,  5F140BA20 ,  5F140BB05 ,  5F140BB13 ,  5F140BF01 ,  5F140BF42 ,  5F140BF60 ,  5F140BJ27 ,  5F140CB04

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 半導体装置および半導体装置の作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-132426   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
• 電界効果型トランジスタ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-185181   出願人：日本電気株式会社
• 半導体装置、及び半導体装置の作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-020373   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
• 半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-094858   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
• 半導体装置およびその作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-165071   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
• 半導体装置、パワーダイオード及び整流器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-196456   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所