特許
J-GLOBAL ID:201503017614237310
パルス電磁波を用いた計測装置及び計測方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
矢野 寿一郎
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-552854
特許番号:特許第5807957号
出願日: 2011年02月07日
請求項(抜粋):
【請求項1】 半導体と当該半導体上に作製される絶縁体とを有する物質検出プレートと、
前記物質検出プレートにパルスレーザー光を前記半導体側から照射することで、照射位置における被検出物質の量に依存する振幅強度を持ったパルス電磁波を発生させる手段と、
前記パルス電磁波の振幅強度を検出する検出手段と、を備え、
前記振幅強度より、前記被検出物質を含む溶液の状態の変化を計測するパルス電磁波を用いた計測装置であって、
前記パルスレーザー光を2分割する第1ビームスプリッタと、
前記絶縁体上に配置され、被検出物質を含む溶液が導入可能である検出領域部と、
前記絶縁体上の前記検出領域近傍に配置され、参照溶液が導入可能である参照領域部と、を備え、
前記パルスレーザー光を、前記第1ビームスプリッタにより2分割し、分割された一方のパルスレーザー光を前記検出領域部に対応する前記半導体に照射するとともに、分割された他方のパルスレーザー光を前記参照領域に対応する前記半導体に照射し、前記検出領域及び前記参照領域に対応する前記半導体から発生する各々のパルス電磁波を集光手段により集光して、ひとつの前記検出手段により検出し、
前記検出領域部と前記参照領域部との位置の違いによる検出時間の違いに基づいて、前記検出領域及び前記参照領域に対応する前記半導体から発生する各々のパルス電磁波の波形を分離することを特徴とするパルス電磁波を用いた計測装置。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許:
審査官引用 (5件)
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特許第4183735号
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センシング装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-248561
出願人:キヤノン株式会社
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センシング装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-270050
出願人:キヤノン株式会社
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