特許

J-GLOBAL ID：201503017859461100

X線発生装置及び除電装置

発明者： 松本 晃 ,  出口 清之 ,  中村 和仁
出願人/特許権者： 双葉電子工業株式会社
代理人 (2件)： 西村 教光 ,  鈴木 典行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-220585
公開番号（公開出願番号）：特開2014-075190
特許番号：特許第5775047号
出願日： 2012年10月02日
公開日（公表日）： 2014年04月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】除電のために除電対象物にX線を放射するX線発生装置において、 窓部が形成されたX線不透過性の基板と、 前記基板の外面側から前記窓部を閉止するように設けられたX線透過窓と、 前記基板の内面側から前記窓部に設けられたX線ターゲットと、 前記基板の内面側に取り付けられてその内部が高真空状態とされた扁平箱型の容器部と、 前記容器部の内部に設けられて前記X線ターゲットに衝突する電子を放出する線状の陰極と、 前記陰極と前記X線ターゲットの間に設けられて前記陰極から放出された電子を制御する制御電極と、 前記陰極と前記制御電極と前記X線透過窓に接続されて陰極側が接地された駆動回路とを有し、 前記陰極から放出された電子を前記X線ターゲットに衝突させて発生させたX線を前記X線透過窓から放出させるX線管を具備するとともに、 前記X線透過窓と前記除電対象物の間に設けられ、前記X線透過窓から放出されたX線が通過してX線の照射エリアを限定するX線放射口を有する接地された電界遮蔽電極を具備することを特徴とするX線発生装置。

IPC (4件)：

H05F 3/06 ( 200 6.01) ,  H01J 35/08 ( 200 6.01) ,  H01J 35/06 ( 200 6.01) ,  H01J 35/18 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H05F 3/06 ,  H01J 35/08 F ,  H01J 35/06 E ,  H01J 35/18

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 除電装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-261075   出願人：株式会社ライフ技術研究所, ケイ・アンド・アイ有限会社
• 除電装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-040417   出願人：株式会社キーエンス
• 軟X線発生装置及び該軟X線発生装置を用いた除電装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-055468   出願人：国立大学法人長岡技術科学大学, 株式会社大河原製作所, 羽場方紀, 株式会社ライフ技術研究所