軟X線発生装置及び該軟X線発生装置を用いた除電装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： , , ,
代理人 (1件)：芳村武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-055468
公開番号（公開出願番号）：特開2009-212010
出願日： 2008年03月05日
公開日（公表日）： 2009年09月17日
要約：

【課題】小さな電界で大きな出力の軟X線を安定した状態で大面積状に発生することができるとともに、発生したX線の照射方向を制御して非照射物に対して効率良く集中させて照射することが可能な、安価で性能の良い軟X線発生装置を提供する。【解決手段】密閉可能な筒状の真空ハウジング内に、ハウジングの内壁面の長手方向に沿ってX線放出物質により構成されたわん曲面を有する陽極を設け、基材表面に針状体を密集して形成させた電極材料からなる冷陰極を前記陽極と間隔を空けて平行に配置してなり、陽極から発生するX線を冷陰極側に放射することを特徴とする軟X線発生装置。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

密閉可能な筒状の真空ハウジング内に、ハウジングの内壁面の長手方向に沿ってX線放出物質により構成されたわん曲面を有する陽極を設け、基材表面に針状体を密集して形成させた電極材料からなる冷陰極を前記陽極と間隔を空けて平行に配置してなり、陽極から発生するX線を冷陰極側に放射することを特徴とする軟X線発生装置。

IPC (6件)：

H01J 35/06 , H01J 35/08 , H01J 35/18 , H01J 35/00 , H05G 1/00 , H05F 3/06

FI (8件)：

H01J35/06 B , H01J35/06 H , H01J35/08 C , H01J35/18 , H01J35/00 Z , H05G1/00 G , H05G1/00 D , H05F3/06

Fターム (11件)：

4C092AA01 , 4C092AB27 , 4C092AC08 , 4C092AC20 , 4C092BD01 , 4C092BD04 , 4C092BD05 , 4C092BD09 , 4C092BD11 , 5G067AA41 , 5G067DA24

引用特許：

出願人引用 (4件)

X線管
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-251141 出願人：浜松ホトニクス株式会社
小型X線源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-188190 出願人：ヌクレトロンベー.フェー.
特許第2749202号公報

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審査官引用 (5件)

高線量X線管
公報種別：公表公報出願番号：特願2007-516985 出願人：コメットホールディングアーゲー
投影型X線顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-329645 出願人：科学技術振興事業団, 学校法人明治大学
軟X線発生装置および除電装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-298043 出願人：高砂熱学工業株式会社, カシオ計算機株式会社, 財団法人高知県産業振興センター

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