特許
J-GLOBAL ID：201503017894576883
検査装置、及び検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
家入 健
, 岩瀬 康弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-025809
公開番号（公開出願番号）：特開2014-153326
特許番号：特許第5787261号
出願日： 2013年02月13日
公開日（公表日）： 2014年08月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 EUVマスクに用いられる検査対象を検査する検査装置であって、
凸面鏡と凹面鏡とを有するシュバルツシルト光学系と、
前記検査対象で反射した反射光を、前記シュバルツシルト光学系を介して検出する検出器と、
前記凸面鏡の前記検査対象側に配置され、暗視野照明を行うため、照明光を前記検査対象の方向に反射する落とし込みミラーと、を備え、
前記照明光の一部が明視野照明光となるように、前記検査対象に対する前記照明光の入射角度を変える手段と、を備え、
前記暗視野照明光と前記明視野照明光とを同時に照明した状態で前記検査対象を撮像し、撮像した画像に基づいて欠陥を検出し、
検出する前記欠陥に応じて、同時照明する場合の前記暗視野照明光と前記明視野照明光との割合が設定されている検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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