検査装置、及び検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：家入健 , 岩瀬康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-016809
公開番号（公開出願番号）：特開2012-154902
出願日： 2011年01月28日
公開日（公表日）： 2012年08月16日
要約：

【課題】レビュー機能を簡単に実現することができる検査装置、及び検査方法を提供する。【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置は、EUVマスクに用いられる検査対象を検査する検査装置であって、凸面鏡15bと凹面鏡15aの2枚のミラーを有するシュバルツシルト拡大光学系15と、検査対象の拡大投影像を撮像するTDIカメラ19と、を備え、シュバルツシルト拡大光学系15による検査対象の拡大像が、単一の凹面鏡18によって、TDIカメラ19上に拡大投影されているものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

EUVマスクに用いられる検査対象を検査する検査装置であって、凸面鏡と凹面鏡の2枚のミラーを有するシュバルツシルト拡大光学系と、前記検査対象の拡大投影像を撮像する光検出器と、を備え、前記シュバルツシルト拡大光学系による前記検査対象の拡大像が、単一の凹面鏡によって、前記光検出器上に拡大投影されている検査装置。

IPC (1件)：

G01N 21/956

FI (1件)：

G01N21/956 A

Fターム (6件)：

2G051AA56 , 2G051AB02 , 2G051AB07 , 2G051BA05 , 2G051CA04 , 2G051CB01

引用特許：

審査官引用 (8件)

走査リングフィールド縮小投影装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-159765 出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
EUVマスク検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-314018 出願人：レーザーテック株式会社
反射型投影光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-152742 出願人：国立大学法人東北大学

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