特許
J-GLOBAL ID:201503018285094453
磁気センサ
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-083897
公開番号(公開出願番号):特開2015-203647
出願日: 2014年04月15日
公開日(公表日): 2015年11月16日
要約:
【課題】本発明は、軟磁性体の小型化、低背化を実現するとともに、垂直方向の磁界成分を基板面内方向に変換して良好なセンサ感度を得ることができる磁気センサを提供することを目的とする。【解決手段】基板15に形成された磁気抵抗効果素子21、22と、基板15の磁気抵抗効果素子21、22が形成された面から離れる方向に延出する1対の軟磁性体35、36とを有し、磁気抵抗効果素子21は、1対の軟磁性体35、36の下面側において、1対の軟磁性体35、36のX1-X2方向の中心位置30aと磁気抵抗効果素子21、22のX1-X2方向の中心位置21a、22bとが重ならない位置に設けられており、1対の軟磁性体35、36は、X1-X2方向に互いに離間して対向するとともに、1対の軟磁性体35、36の下面側において接続されていることを特徴とする。【選択図】図2
請求項(抜粋):
基板に形成された磁気抵抗効果素子と、
前記基板の前記磁気抵抗効果素子が形成された面から離れる方向に延出する1対の軟磁性体とを有し、
前記基板の前記面内において直交する方向を第1の方向と第2の方向としたときに、
前記磁気抵抗効果素子は、磁化方向が固定された固定磁性層と、外部磁界により磁化方向が変化する自由磁性層とを有し、前記固定磁性層の磁化方向が前記第1の方向に向けられるとともに、1対の前記軟磁性体の下面側において、1対の前記軟磁性体の前記第1の方向の中心位置と前記磁気抵抗効果素子の前記第1の方向の中心位置とが重ならない位置に設けられており、
1対の前記軟磁性体は、前記第1の方向に互いに離間して対向するとともに、1対の前記軟磁性体の下面側において接続されていることを特徴とする磁気センサ。
IPC (2件):
FI (2件):
G01R33/02 V
, G01R33/06 R
Fターム (5件):
2G017AA03
, 2G017AA16
, 2G017AC06
, 2G017AD55
, 2G017AD65
引用特許:
出願人引用 (4件)
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3軸磁場センサー
公報種別:公表公報
出願番号:特願2012-531101
出願人:エバースピンテクノロジーズインコーポレイテッド
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3次元磁気検出装置および半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-051929
出願人:旭化成エレクトロニクス株式会社
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パチンコ台用磁気検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-024003
出願人:センサテック株式会社
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特開平4-032786
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審査官引用 (4件)