特許

J-GLOBAL ID：201503018352222194

精密に成形された形成部を有する研磨要素前駆体及びその作製方法

発明者： レフー, デュイ ケー. ,  シャンティ, ノア オー. ,  シェー, ジュンチン ,  ブレッチャー, キャスリン アール. ,  ネーリング, ヴィンセント ダブリュー.
出願人/特許権者： スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー
代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  池田 成人 ,  清水 義憲 ,  酒巻 順一郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-525527
公開番号（公開出願番号）：特表2015-527941
出願日： 2013年07月31日
公開日（公表日）： 2015年09月24日
要約：

研磨要素前駆体は、第1主表面、第2主表面、複数の無機粒子、及び結合剤を有する、グリーン体セラミックス要素を含む。少なくとも第1主表面は、複数の精密に成形された形成部を備える。複数の無機粒子は、少なくとも約99重量%の炭化物セラミックスである。【選択図】図1a

請求項（抜粋）：

第1主表面、第2主表面を有するグリーン体セラミックス要素と 複数の無機粒子と、 結合剤と、を備え、 少なくとも前記第1主表面が、複数の精密に成形された形成部を備え、 前記複数の無機粒子が、少なくとも約99重量%の炭化物セラミックスである、研磨要素前駆体。

IPC (2件)：

B24D 3/00 ,  B24D 3/28

FI (5件)：

B24D3/00 320A ,  B24D3/00 330E ,  B24D3/00 330D ,  B24D3/00 340 ,  B24D3/28

Fターム (5件)：

3C063AA06 ,  3C063AB07 ,  3C063BA15 ,  3C063BB04 ,  3C063BB15

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 研削砥石
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-361400   出願人：株式会社アイ・エヌ・アール研究所
• 研磨用品、その製造方法およびワークピースの表面を減らすためにそれを使用する方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-284024   出願人：ミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー
• 構造化研磨物品並びにその製造及び使用方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2009-507867   出願人：スリーエムイノベイティブプロパティズカンパニー