特許

J-GLOBAL ID：201503018398311124

プラズマ洗浄装置

発明者： 寺井 弘和 ,  中野 博彦
出願人/特許権者： サムコ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人京都国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-038446
公開番号（公開出願番号）：特開2015-160192
出願日： 2014年02月28日
公開日（公表日）： 2015年09月07日
要約：

【課題】白色LEDパッケージ等、銀(Ag)を含む表面を洗浄するためのプラズマ洗浄装置及び方法を提供する。【解決手段】洗浄対象物が置かれたプラズマ洗浄室内に酸素ガスと水素ガスの混合ガスを導入し、該混合ガスをプラズマ化することにより、洗浄対象物の銀を含む表面のプラズマ洗浄を行う。ここで、該混合ガスにおける酸素ガスの体積比は1〜60%とすることが望ましい。水素ガスの代わりに、水蒸気を用いてもよい。この場合は、酸素ガスの体積比は1〜80%とすることが望ましい。なお、水蒸気のみをプラズマ化することにより洗浄してもよい。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

洗浄対象物が置かれたプラズマ洗浄室内に酸素ガスと水素ガスとを導入し、 前記酸素ガスと水素ガスとから成る混合ガスをプラズマ化する 工程を含むことを特徴とする、洗浄対象物の銀を含む表面のプラズマ洗浄方法。

IPC (3件)：

B08B 7/00 ,  H01L 33/48 ,  H01L 21/306

FI (3件)：

B08B7/00 ,  H01L33/00 400 ,  H01L21/302 102

Fターム (27件)：

3B116AA46 ,  3B116AB01 ,  3B116BB89 ,  3B116BC01 ,  5F004AA14 ,  5F004BA04 ,  5F004DA00 ,  5F004DA24 ,  5F004DA26 ,  5F004DB08 ,  5F142AA65 ,  5F142BA02 ,  5F142BA32 ,  5F142CA02 ,  5F142CC04 ,  5F142CC26 ,  5F142CE02 ,  5F142CE04 ,  5F142CE06 ,  5F142CE13 ,  5F142CE16 ,  5F142CF02 ,  5F142CG03 ,  5F142DA02 ,  5F142DA12 ,  5F142FA38 ,  5F142FA50

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 接点材料の表面洗浄装置及び接点材料の表面洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-226034   出願人：松下電工株式会社
• 特開平2-237118
  
• プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-364562   出願人：セイコーエプソン株式会社